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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

蛍光X線を利用したメッキ厚み計です。当社の厚み計FTシリーズの標準機と呼べる装置です。プリント基板用のFT9250、大型プリント基板用のFT9255があり、幅広いアプリケーションに対応しています。

価格 ¥9,500,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

  1. FT3000シリーズの後継機種です。
  2. 薄膜FP(ファンダメンタル・パラメータ)法により、多層膜や合金膜を精度良く測定できます。
  3. 凹凸のある試料も安心な衝突防止センサーを搭載しています。
  4. レーザーフォーカス機能により、焦点位置合わせを簡単に行うことができます。
  5. 微小領域の観察も容易です。4段階に切り替えられるズーム機能を搭載しています(オプション) 。
  6. 焦点切替機構を搭載し、高さのある試料の低い部分の測定が可能です(オプション)。
  7. 落射照明により従来見難かった試料が見やすくなりました。

仕様

タイプFT9250FT9255
線源 原子番号Ti(22)~Bi(83)
原子番号21以下の元素は吸収法で測定の可能性があります
測定元素 小型空冷式X線管球
管電圧50(可変)kV
管電流10~1000µA
検出器 比例計数管
コリメータ ○型: 0.1, 0.2, 0.3mmφ
□型: 0.2 x 0.05, 0.05 x 0.2mm
試料観察 CCDカメラ
焦点合わせ レーザーポインタ
フィルタ Co-自動切替え
試料ステージ(テーブル寸法)(移動量) X:430mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
X:700mm, Y:600mm
X:400mm, Y:300mm, Z:15mm
測定ソフト 薄膜FP法 (最大5層膜、10元素)、検量線法
安全機能 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能

オプション

  • めっき液分析(バルク検量線法)
  • バルクFP法(材料組成分析)
  • スペクトルマッチングソフト(材料判別)
  • マッピング(強度面分析多点表示)ソフト

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

FT150シリーズの概要や測定例をご紹介します。

保守・サービス

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