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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

75WハイパワーX線管とデュアル検出器(半導体検出器+比例計数管)を搭載し、「薄膜」・「合金膜」・「極微小部測定」等のめっき膜厚測定ニーズのすべてに応える高性能膜厚計です。また、「FT9400シリーズ」はめっき膜厚測定機能に加えて、異物の定性分析や材料の成分分析にもご利用頂けます。

価格 ¥12,700,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

1. デュアル検出器(半導体検出器+比例計数管)搭載

X線のエネルギー分解能に優れた半導体検出器(液化窒素不要)と計数率に優れた比例計数管の両方を搭載し、アプリケーションに応じて使い分けできます。 特に半導体検出器は、NiとCuのようなエネルギーが近接した元素をそれぞれ弁別できることから、以下の特長があります。

  • Ni/CuやAu/Ni/Cuは、二次フイルターなしで測定が行えます。
  • Br入りプリント板の場合は、Brの干渉を受けない高精度のAuメッキ厚測定ができます。
  • 0.01µm以下の極薄Auメッキを測定できます。

2. 薄膜FPソフト

鉛フリーはんだを含む合金メッキや多層メッキ等、幅広いアプリケーションに対応できます。

3. 極微小部の測定対応

15µmφのコリメータを標準搭載し、極微小部のメッキ厚測定に威力を発揮します。

4. 75WハイパワーX線管球を搭載

75WハイパワーX線管球を搭載することで、高精度測定を実現しています。

5. 微小領域の観察も容易

4段階に切り替えられるズーム機能を搭載し、微小領域の観察も簡単容易に行うことができます。

6. 大型ステージ(FT9455)

大型プリント基板も測定可能な大型ステージを搭載しました。

7. 落射照明により従来見難かった試料も見やすくなりました。

8. 凹凸のある試料も安心な衝突防止センサーを搭載。

9. サーボモータによる高精度ステージ駆動。

10. 正確な焦点合わせ

測定試料の焦点合わせはレーザーによりワンタッチで正確に行えます。

11. 報告書ソフト

マクロソフトにより、測定データを簡単に報告書として作成できます。

仕様

タイプFT9400FT9450FT9455
測定元素 原子番号Ti(22)~Bi(83)
原子番号21以下の元素は吸収法で測定の可能性があります
線源 小型空冷式X線管球
管電圧50(可変)kV
管電流10~1000µA
検出器 比例計数管 + 半導体検出器(液化窒素レス検出器)
コリメータ 4種類(0.015, 0.05, 0.1, 0.2mmφ)
試料観察 CCDカメラ
焦点合わせ レーザーポインタ
フィルタ 一次フィルタ: Mo-自動切換え
試料ステージ(テー
ブル
寸法)
(移動
量)
X:240mm, Y:170mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm
X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
X:700mm, Y:600mm
X:400mm, Y:300mm, Z:15mm
測定ソフト 薄膜FP法 (最大5層膜、10元素)、検量線法 、 バルクFP法(材料組成分析)
安全機能 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能

オプション

  • めっき液分析(バルク検量線法)
  • スペクトルマッチングソフト(材料判別)
  • マッピング(強度面分析多点表示)ソフト

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

FT150シリーズの概要や測定例をご紹介します。

保守・サービス

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