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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

蛍光X線膜厚計 X-Strata920SDD

半導体検出器搭載により、フラッシュ金(Au)めっきの膜厚測定や無電解ニッケル(Ni)めっきのリン(P)濃度測定等、比例計数管モデルでは測定の難しいアプリケーションに対応可能です。
また、複数種類あるステージやコリメータからの選択により、最適な装置構成を実現できます。

X線の上面照射タイプ 装置と試料の衝突防止機能搭載 レーザーフォーカス 薄膜FP法ソフト付属

価格 ¥7,600,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

半導体検出器搭載モデル

Al(13)からU(92)までの元素に対応。フラッシュAuめっきの膜厚測定や無電解Niめっきの膜厚及びP濃度の同時測定等に適しています。

種類豊富なコリメータ

15種類以上のコリメータから最大6種類まで選択が可能です。

サンプルに応じた試料ステージ

電動、大型サンプル用、高さのあるサンプル用等、サンプル形状や運用に応じた最適なステージを選択出来ます。

シンプルなソフトウェア

試料画像やタスクコマンド、測定結果などを1つの画面内に見易く配置しています。オペレータに必要な情報のみ表示させるようなカスタマイズも容易です。

容易な測定条件設定

代表的なアプリケーションは予め設定済みですので、選択したアプリケーションの設定に従って標準物質を測定するのみで簡単に分析条件を作成することができます。

仕様

測定元素 Al(Z=13)~U(Z=92)
X線管球 Wターゲット
管電圧50 kV、管電流1.0 mA
検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)
コリメータ 単一または複数(Max 6種類まで)
最小:0.025×0.051 ㎜
最大:0.51 ㎜&pai;
ソフトウェア Windows10(日本語)
アプリケーション 定性分析、単層膜厚、複層膜厚(最大5層、15元素)、2成分合金単層膜、めっき液測定(オプション)
ステージ構成
標準ステージ

標準ステージ

試料高さ:Max 16 ㎜
装置サイズ:407 (W)×770 (D)×305 (H) mm
ミニウェル

ミニウェル

ベースプレート位置4段階可変
試料高さ:Max 143 ㎜
装置サイズ:407 (W)×770 (D)×400 (H) mm
ワイドステージ

ワイドステージ

ベースサイズ:560 ㎜×610 ㎜ (固定)
試料高さ:Max16 ㎜
装置サイズ:610 (W)×1037 (D)×305 (H) mm
電動ステージ

電動ステージ

ステージサイズ:560 ㎜×610 ㎜ (電動)
ステージ移動量:178 ㎜×178 ㎜
試料高さ:Max 16 ㎜
装置サイズ:610 (W)×1037 (D)×375 (H) mm
電源 85V~130V / 47Hz~63Hz

動画

X-Strata920SDDは、電子部品・機械部品・PCB/PWB・コネクタ等さまざまな膜厚測定、めっき液の分析など、幅広い測定に対応します。

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

保守・サービス

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