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日立ハイテクサイエンス

グロー放電質量分析装置(GD-MS)

グロー放電質量分析装置(GD-MS)は、金属、合金、半導体材料中の不純物の検出などに用いられてます。
グロー放電は、低圧ガスに電流が流れることによって形成されるプラズマです。アノード(セル)とカソード(サンプル)の2つの金属電極間に電圧が印加され、電圧が特定の値を超えると、セル内のガスが電離してプラズマになります。イオン化ガス原子は、カソードに向かい、サンプルから材料をスパッタします。続いてイオン化され、質量分析計で測定されます。