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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

EA6000VXにより、目視では判別できない極微小異物の検出が可能です。短時間測定での異物の含有箇所の特定を実現しており、含有異物のスペクトルを表示させることで詳細情報の取得も可能です。さらに時間をかけてマッピングすることで、より鮮明なマッピング像を得ることができます。

広域からの微小異物検出事例

100mm×100mmの測定エリアにおける3分間のマッピング測定で、目視では確認できなかった70µm程度の鉄(Fe)の異物を検出しました(図2)。 図2中のAのエリアを微小ビームで3分間測定することで、 詳細なマッピング像を取得しました(図3)。簡易マッピングでは1点に見えていた異物が、詳細マッピングでは2点であることがわかりました。 さらに任意の測定箇所についてスペクトルを表示することができるため、分析結果について詳細な情報を得ることができます(図4)。

図1. 試料像
図1. 試料像

測定条件:

キャプションを入れてください。
管電圧 50kV
管電流 1000µA
一次フィルタ OFF
ビームサイズ 1.2mm(簡易マッピング)
0.2mm(詳細マッピング)

代替テキスト
図2.Feマッピング像
(簡易マッピング3分)
測定領域: 100mm×100mm

代替テキスト
図3.Feマッピング像
(詳細マッピング3分)
測定領域: 1mm×1mm

代替テキスト
図4. 測定箇所のスペクトル

極微小異物の検出事例

図2のFeが密集した領域Bを微小ビームで30分かけてマッピングし、詳細なマッピング像を取得しました(図5)。領域CのFeの粒を高精度の光学顕微鏡を用いて大きさを特定したところ(図6)、約50µmの大きさであることが確認されました。さらに小さなマッピング像が確認できることから、50µm以下の異物についても検出が可能です。

図5. Feマッピング像、図6. 異物部分の高分解能顕微鏡像
  図5. Feマッピング像   図6. 異物部分の高分解能顕微鏡像
 (詳細マッピング30分)
測定領域: 10mm×10mm