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日立ハイテクサイエンス

RPF中の塩素は偏在が大きい為、蛍光X線による測定は、粉砕後均一化した試料を測定、または測定箇所を増やして平均値を求める、といった方法が取られています。しかし、粉砕には手間がかかり、測定箇所を増やすと測定に時間がかかります。 EA6000VXのマッピング機能を使用すると、測定時間の短縮だけではなく、試料中の偏在箇所を特定することができます。

【RPFのマッピング測定とポイント分析測定結果の比較】

試料像
試料像

<測定条件(マッピング)>
  濃度測定マッピング ポイント分析 詳細マッピング
管電圧: 50kV 50kV
管電流: 500µA 1000µA
一次フィルタ: Cl用 Cl用
コリメータサイズ: 3mm 0.2mm

マッピング分析

塩素マッピング結果(濃度測定:3分)
塩素マッピング結果
(濃度測定:3分)

塩素マッピング結果(詳細:20分)
塩素マッピング結果
(詳細:20分)

<マッピング分析測定結果>
平均濃度:4759ppm

ポイント分析


ポイント分析測定結果
(測定時間: 100秒×5箇所)

測定箇所 濃度(ppm)
1 1741
2 1423
3 1296
4 1812
5 2440
平均値 1742.4

ポイント分析で複数個所測定したときの平均値と、マッピングから得られた濃度が、大きく異なる結果となりました。
詳細マッピングとポイント分析測定箇所を比較すると、一番濃度の濃い部分をポイント分析では測定しなかったためとわかりました。
このように、マッピング分析では、短時間で試料全体の平均的な濃度を求めることができます。