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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

『差分マッピング』オプションソフトでは、パターンとして取り扱える基板などのサンプルにおいて、2つのマップングデータの差分(評価データ - 参照データ)を取ることが出来ます。位置ズレを補正する為の位置補正機能がありますので、サンプル設置のズレを気にせず、サンプル間での変化(差異)を評価できます。
複数のマッピング結果を比較したい場合に適しています。

【差分マッピングの使用例】

複数枚の基板サンプルを評価する際に、複数の結果を見比べて、違いを確認するのは手間がかかります。

複数の評価サンプルのマッピング結果

差分マッピングでは、基準サンプルと評価サンプルの違いのみを評価するので、大幅に評価結果の解析のスループットが上がります。

差分マッピング

差分マッピングの画面では、指定元素について、評価データ・参照データ・差分データのマッピング像が並べて表示され、 変化を簡単に見つけられます。

差分マッピング事例