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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

現在ナノテクノロジーの中核を担うツールとして広く科学技術の分野に普及している 走査型プローブ顕微鏡(SPM)の歴史は、他の顕微鏡と比較すると浅く、その始まりはIBMチューリッヒ研究所のDr.Binng、Dr.Rohrerによる 走査型トンネル顕微鏡(STM)の開発と、1981年のシリコン(111)7×7原子像の画像化成功に遡ります。この発明によってSTMは原子を観る手法として脚光を浴び、1986年に両氏はノーベル物理学賞を受賞しました。 当時、日本国内においても幾つかのグループがSTMの装置開発に力を注いでいましたが、国内初の成功事例は、1986年旧電子技術総合研究所によって観察されたNbSe2の原子像です。この時に、日立ハイテクサイエンス(当時セイコー電子工業)から、装置開発の担当で技術者を派遣しています。すなわち、私たちのSPM開発はここから始まっています。 その後、1986年Dr.BenningとDr.Quateによる原子間力顕微鏡(AFM)の発明は、導電性試料に限られていたSTMの応用範囲を飛躍的に拡大しただけでなく、後に 多様に発展する物性測定手法の根本技術となりました。

このように推移してきたSPMの歴史において、私たち日立ハイテクサイエンスは常に国内をリードし、国産初のSTM・国産初のAFM、国産初の多機能型SPMの商品化と、それに続いて継続的に各種アプリケーションに合わせた装置開発を行って来ました。

日立ハイテクサイエンス製SPMの変遷

SPMの歴史と、日立ハイテクサイエンス製SPMの装置変遷を年表にまとめました。 年表はクリックすると拡大されます。