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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

SPMの基礎研究

当社製SPMの変遷

1988~
SAM3000シリーズ
1990~
SPI3600シリーズ
 
STM
 
 
 
 
 
 
国産初STM
商品化
AFM
 
 
国産初AFM
商品化
大型試料
対応STM
 
 
大型ステージ
AFM
 
1993~
SPI3600シリーズ
1996~
SPI3700シリーズ
1998~
SPI3800シリーズ
2002~
SPI4000シリーズ
2005~
NanoNaviシリーズ
2013~
AFM5000シリーズ
 
環境制御型
SPM
 
 
 
 
SPM
 
 
 
 
国産初多機能
型SPM商品化
簡易・
省スペース
タイプ
 
 
 
 
 
スタンド
アローン
 
中型ステージ
SPM
 
 
 
 
 
 
中型ステージ
SPM