ページの本文へ

Hitachi

日立ハイテクサイエンス

SISモード(サンプリング・インテリジェント・スキャンモード)は、探針走査の影響(ひきずりや変形など)、水平方向の相互作用影響を受けない測定を実現し、従来のSPMの課題を解決しました。これにより、凹凸や吸着が大きな試料や軟らかい試料などの安定した測定が可能になりました。また、電流測定モードでは、試料が軟らかい場合でも試料を壊さずに安定した形状像と電流像の測定を可能とし、位相モードでは走査による形状の影響(アーティファクト)を受けず、優れた物性マッピングが可能となりました。

1. SISモードとは

  • SISモードの原理や効果に関する解説です。
  • 1-1 従来の操作方法の課題
  • 1-2 SISモードの原理
  • 1-3 SISモードの効果

2. 測定事例紹介

  • SISモードによる測定事例を紹介しています。
  • 2-1 凹凸の大きな試料の高精度観察(SIS-DFM)
  • 2-2 吸着や大きい試料、やわらかい試料の安定観察(SIS-DFM)
  • 2-3 位相モードの高精度・安定測定(SIS-DFM)
  • 2-4 電流測定モードの高精度・安定測定(SIS-AFM)

対応機種

*
NanoNavi I 以前のステーションではNanoNaviⅡへのバージョンアップが必要です。ユニットは全機種に対応しています。
  • AFM5000
  • AFM5200S
  • AFM5300E
  • AFM5400L
  • AFM5100N

装置構成や価格の詳細については、当社営業までお気軽にお問合せください。

3ページ中1ページ