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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

ナノメッシュ

超微細・高精度な試料固定部でTEM試料の作製をより正確にスムーズに行うことを可能にします。

ナノメッシュの特長

長さ5 µmの超平滑面を持つ試料固定部

試料を試料固定部の上面または側面に固定することができます。

試料固定部は単結晶シリコン製

試料固定部の材質は単結晶シリコンです。
特にシリコン系の試料をEDX分析するときは、台座からバックスパッタされる成分もシリコンであるため、元々含有しているシリコン以外の物質の検出を正確に行うことが可能です。

突出した固定部

FIBでの薄片化時における逆スパッタリング(リデポジション)の影響を低減できます。

仕様

仕様
商品名・販売単位
商品名 ナノメッシュ
販売単位 25個/組
商品名・販売単位
先端厚み 5 µm
先端幅 100 µm、50 µm、30 µm、20 µm
固定部本数 5本
材質 単結晶シリコン
基板
厚み 50 µm
直径 3 mmφ
材質 モリブデン