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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

カンチレバー

カンチレバー呼び寸法

SN-FF01について

表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバー

測定モード:AFM

測定モード:AFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SN-AF01-S-NT Au 0.08
0.02
34
11
15 2.9 100
200
13.4
27.9
0.4
K-W10200326 大気中・液中AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。 30本/組
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560 SPA-500/L-trace用AFM推奨品。凹凸の大きい試料にはSN-AF01より有利。 30本/組

測定モード:DFM(Phase)

測定モード:DFM(Phase)
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF20(背面ALコート) Al 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-A102002771 DFM標準推奨品。 30本/組
SI-DF40(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-A102002760 DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 30本/組
SI-DF20P2(※1) Al 9 100~200 7 14 200 40 3.5
K-W10200459 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。(※1) 30本/組
SI-DF40P2(※1) Al 26 200~400 7 14 160 40 3.7
K-W10200456 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。(※1) 30本/組
SI-DF3P2(※1) Al 2 50~90 7 14 240 40 2.3
K-W10200481 レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。
SPA-400にはセットできない場合があります。(※1)
30本/組
SI-DF20Plus(背面ALコート) Al 15 110~150 7 12.5 225 33 5
K-W10200366 SI-DF20よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 10本/組
SI-DF40Plus(背面ALコート) Al 42 250~390 7 12.5 125 30 4
K-W10200365 SI-DF40よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 10本/組
SI-DF3(※2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 液中DFM標準推奨品。 30本/組
SI-DF3FM Al 2.8 60~90 7 12.5 225 28 3
K-W10200367 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。DF3P2タイプよりも静電気に強い。 10本/組
SI-DF20S(背面ALコート) Al 15 110~150 2~5 12.5 225 33 5
K-A102002731 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40S(背面ALコート) Al 42 250~390 2~5 12.5 125 30 4
K-A102002742 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40H(傾斜補正10:1) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200303 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:10)。補正角13°。高さ1.5 µmでφ150 nm以下、先端開き角<6°。80度程度の急峻側面に有効。 10本/組
SI-DF40H(傾斜補正5:1) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200368 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。補正角13°。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効。 10本/組
SI-DF40H(背面ALコート) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200282 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 10本/組
センサー内蔵型 なし 40

 

300~500

20(※1) 8 120 50
レバーPRC-DF40P
K-U001354500 レバー最先端部にTipを取付けたTip View型のセンサー内蔵型DFMカンチレバー
(光てこ系不要)専用カンチレバーホルダー必要。Nanopics使用不可。
10本/組
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571   30本/組

測定モード:FFMLM-FFM

測定モード:FFMLM-FFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560   30本/組
SI-DF3(※2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593   30本/組
SN-FF01は硬さの異なる4本の探針がついている。軟らかい試料にはバネ定数が低いレバーを選択(SN-AF01も可)。
Auコート品は先端接触面が比較的大きくなり物性測定のばらつきが低減できる可能性あり。

測定モード:VE-AFM

測定モード:VE-AFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571   30本/組
SI-DF3-A(※2) Al Au 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102001582   30本/組
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560   30本/組

測定モード:VE-DFM

測定モード:VE-DFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3(※2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 硬い試料へはバネ定数の大きいDFMレバー使用も可。 30本/組

測定モード:アドヒージョン

測定モード:アドヒージョン
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3(※2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 吸着が強い試料はSI-DF20も可。SI-DF3-Aも可。 30本/組

測定モード:ヤング率測定

測定モード:ヤング率測定
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-FC40(400 nm) Al 42 250~390 400 12.5 125 30 4
K-U002350500 フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア用。 10本/組

カンチレバーサンプルセット

カンチレバーサンプルセット
セット名 型番 品目コード セット内容
DFM形状
測定セット
SPL-DF K-W10200732 DFM形状測定セット SI-DF3P2 / SI-DF20P2 / SI-DF40P2 各10本のセット
※SPA400の一部カンチレバーホルダーは使用できない場合があります
AFM/DFM
測定セット
SPL-BSC K-W10200734 AFM/DFM測定セット  SN-AF01 / SI-DF20P2 / SI-DF40P2 各10本のセット
※-P2系はSPA400の一部カンチレバーホルダーで使用できない場合があります。
SN-系は大型の装置で使用できません。
物性
測定セット
SPL-EP K-W10200733 物性測定セット SI-AF01-A / SI-DF3-R / SI-DF20-R 各10本のセット
※機械物性に関してはコート無でも測定可能です。
対応可能な測定モードにつきましてはお問合せください。

電磁気物性モードの推奨カンチレバー

測定モード:Nano/Pico Current AFM 電流同時AFM測定

測定モード:Nano/Pico Current AFM 電流同時AFM測定
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3-R(※2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 電流測定標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-R両面(※2) Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951 SPA-500/L-trace用推奨品。SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。 10本/組
SI-DF3-R(100 nm)(※2) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 Rhを100 nm厚コート 金属コートの耐久性が必要な測定に有効。 30本/組
SI-DF20-R(100 nm) Al Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003720 比較的硬い試料向き、試料に押し付けての電流測定。 30本/組
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571 比較的軟らかい試料向き。SI-AF01にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-AF01-A両面 Au Au 0.2 10~17 30~ 12.5 450 50 2
K-A102002640 SI-AF01に両面Auコート(膜厚70 nm)。SPA-500/L-trace用。 10本/組
SI-DF3-A(※2) Al Au 1.6 23~31 30 12.5 450 55 4
K-A102001582 SI-DF3にAuコート (膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF3-A両面(※2) Au Au 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002651 SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。SPA-500/L-trace用。 10本/組

測定モード:KFM

測定モード:KFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3-A(※2) Al Au 1.6

23~31

30~50 12.5 450

55

4
K-A102001582 KFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF3-A両面(※2) Au Au 1.6

23~31

30~ 12.5 450

55

4
K-A102002651 SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。SPA-500/L-trace用。 10本/組
SI-DF3-R(※2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 KFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-R両面(※2) Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951 SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。SPA-500/L-trace用。 10本/組

測定モード:SSRM

測定モード:SSRM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF40-CD(CDT-NCHR-10) Al ダイヤモンド 80 225~610 100~ 12.5 125 30 4
U00097083000 SSRM用標準推奨品。SI-DF40にBドープダイヤモンドコート。 10本/組
SI-DF40-R (100 nm) Al Rh 42 250~390 50~ 12.5 125 30 4
K-A102003715 SI-DF40にRh(100 nm厚)コート。 30本/組
SI-DF3-R(100 nm) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 30本/組

測定モード:SNDM

測定モード:SNDM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF20-R両面 Rh Rh 15 110~150 30~ 12.5 225 33 5
K-A102003742   10本/組
SI-DF40-R両面 Rh Rh 42 250~390 30~ 12.5 125 30 4
K-W10200364   10本/組
SI-DF3-R両面 Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951   10本/組
両面Rhコート(膜厚30 nm)。レバーホルダーの構造上、導通をレバー背面からとっているため、両面とも導電性が大きいカンチレバーを推奨。SI-DF20-Rなどでも使用は可能。

測定モード:圧電応答

測定モード:圧電応答
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3-R(100 nm) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 圧電応答標準推奨品。SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 30本/組
SI-DF3-R Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF20-R(100 nm) Al Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003720 SI-DF20にRh(100 nm厚)コート。 30本/組

測定モード:EFM

測定モード:EFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3-R(※2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-A(※2) Al Au 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102001582 EFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF40-R両面 Rh Rh 42 250~390 30~ 12.5 125 30 4
K-W10200364 EFM用真空測定推奨品。SI-DF40にRhコート(膜厚30 nm)。 10本/組

測定モード:MFM

測定モード:MFM
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-MF3 Al 磁性体
コート
1.5 23~31 35 12.5 450 55 4
K-A102001675 SI-DF3に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。L-traceII以降対応。 10本/組
SI-MF20 Al 磁性体
コート
15 110~150 35 12.5 225 33 5
K-A102001680 MFM標準推奨品、SI-DF20に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。
L-traceII以降対応。
10本/組
SI-MF40 Al 磁性体
コート
42 250~390 35 12.5 125 30 4
K-A102001691 真空中測定用、SI-DF40に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 10本/組
SI-MF40LM Al 磁性体
コート
42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-A102004800 低モーメント探針、真空中高分解能測定用。CoPtCrコート 膜厚24 nm、着磁なし。 10本/組
SI-MF40-Hc Au 磁性体
コート
42 250~390 ~20 12.5 125 30 4
K-W10200375 高保磁力探針(10kOe以上)、FePtコート着磁済(S極)。真空中測定用。 4本/組

測定モード:MFM用

測定モード:MFM用
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-MF3N Al 磁性体
コート
2.8 60~90 ~50 12.5 225 28 3
U00065766300 探針磁性体コーティング。 10本/組
SI-MF40(着磁なし) Al 磁性体
コート
42 250~390 50~60 12.5 125 30 4
K-A102004822 探針磁性体コーティング(CoPtCr 膜厚80 nm)。 10本/組
SI-MF3-LM Al 磁性体
コート
1.6 23~31 50~60 12.5 450 55 4
K-W10200320 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。L-traceII以降対応。 10本/組
SI-MF20-LM Al 磁性体
コート
15 110~150 100~ 12.5 225 33 5
K-W10200285 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。L-traceII以降対応。 10本/組
SI-MF40-LM Al 磁性体
コート
42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-A102004800 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。L-traceII以降対応。 10本/組

サーマルカンチレバー(nano-TA2-S用)

測定モード:サーマルカンチレバー(AFM)

測定モード:サーマルカンチレバー(AFM)
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
AN2-300um(5本/組) なし 0.1~0.5 15~30 30以下 3~5 300 ~50 ~2
K-W10200436 nano-TA2-S対応、最大印加温度400°C。 5本/組

測定モード:サーマルカンチレバー(DFM)

測定モード:サーマルカンチレバー(DFM)
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
AN2-200um(5本/組) なし 0.5~3 50~80 30以下 3~5 200 ~50 ~2
GAA-1924 nano-TA2-S対応、最大印加温度350°C。 5本/組

測定モード:SThM用プローブ

測定モード:SThM用プローブ
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
GLA-1(5本/組) なし ~0.5 ~50 <100 ~10 150
GAA-1926 SThM対応、最大印加温度160°C。 5本/組

10本組カンチレバー(汎用Si系カンチレバー)

測定モード:DFM

測定モード:DFM
測定
モード
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
DFM SI-DF3(※2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-W10200630 液中DFM標準推奨品。推奨カンチレバーホルダー(マルチホルダー、KFMホルダー)。 10本/組
SI-DF20(背面Alコート) Al 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-W10200646 DFM標準推奨品。 10本/組
SI-DF40(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-W10200645 DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 10本/組
SI-DF3P2(※1) Al 2 50~90 7 14 240 40 2.3
K-W10200643 レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。
SPA-400にはセットできない場合があります。
10本/組
SI-DF20P2(※1) Al 9 100~200 7 14 200 40 3.5
K-W10200641 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。 10本/組
SI-DF40P2(※1) Al 26 200~400 7 14 160 40 3.7
K-W10200640 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。 10本/組

測定モード:AFM形状測定用

測定モード:AFM形状測定用
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SN-AF01 10本切り分けタイプ Au 0.08
0.02
34
11
15 2.9

100
200

13.4
27.9
0.4
K-W10200152 AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。 10本/組

測定モード:AFM電気物性測定用

測定モード:AFM電気物性測定用
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF3-R(※2) Al Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-W10200633 SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 10本/組

その他カンチレバー

測定モード:DFM用

測定モード:DFM用
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-DF20 なし 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-A102001604 DFM用。 30本/組
SI-DF40 なし 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-A102001615 DFM用。 30本/組
SI-DF20S なし 15 110~150 2~5 12.5 225 33 5
K-A102001631 DFM用スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40S なし 42 250~390 2~5 12.5 125 30 4
K-A102001642 DFM用スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40H なし 42 250~390 10 12.5 125 30 4
U00065768500 ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、
先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。
10本/組
SI-DF40H(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-W10200282 ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、
先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。
10本/組

測定モード:電気物性機械物性測定用

測定モード:電気物性機械物性測定用
型番 背面コート 探針先端コート K
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード 用途・内容 数量
SI-AF01-Pt PtIr5 PtIr5 0.2 10~17 25 12.5 450 50 2
K-A102003235 探針PtIr5コーティング。 20本/組
SI-AF01-R両面 Rh Rh 0.2 10~17 30~ 12.5 450 50 2
K-A102002962 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(※2)(100 nm) Rh Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003911 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(※2)(300 nm) Rh Rh 1.6 23~31 100~ 12.5 450 55 4
K-A102003775 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(※2)(60 nm) Rh Rh 1.6 23~31 40~ 12.5 450 55 4
K-A102004844 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 10本/組
SI-DF20-A Al Au 15 110~150 30~50 12.5 225

33

5
K-A102001664 探針金コーティング(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF20-R Al Rh 15 110~150 30~50 12.5 225

33

5
K-A102003502 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF20-R両面(100 nm) Rh Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003704 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 10本/組
SI-DF20-R両面(300 nm) Rh Rh 15 110~150 100~ 12.5 225 33 5
K-A102003884 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF20-R両面(60 nm) Rh Rh 15 110~150 40~ 12.5 225 33 5
K-A102004833 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 10本/組
SI-DF40-R Al Rh 42 250~390 30~50 12.5 125 30 4
K-A102003611 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF40-R(100 nm) Al Rh 42 250~390 50~ 12.5 125 30 4
K-A102003715 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 30本/組
SI-DF40-R(300 nm) Al Rh 42 250~390 100~ 12.5 125 30 4
K-A102004855 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 30本/組
SI-DF40-R 両面(300 nm) Al Rh 42 250~390 100~ 12.5 125 30 4
K-A102005204 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF3D(※4) Al ダイヤモンド 1.6 23~31 100~ 12.5 450 55 4
U00065814600 探針ダイヤモンドコーティング。 10本/組

操作ガイド ~カンチレバーの特性~

*1
SI-DF3P2、SI-DF20P2、SI-DF40P2について・・・
SPA-400のワイヤータイプでないDFMホルダーには、セットできないものがあります。使用するためにはホルダーの改造が必要です。
(費用については、弊社サービス担当にご連絡ください。サービス受付電話番号0120-513-522)
*2
小型SPMのお客様はSI-DF3系レバーを使用の際は、マルチホルダかKFMホルダを推奨しております。

(注意)AFM5400L、L-traceWIDE、L-traceII、L-trace、SPA-500系のユニットは、

  • 窒化シリコン製カンチレバー(SN-で始まるカンチレバー)は取り付けることができません。
    シリコン製カンチレバー(SI-で始まるカンチレバー)をお使いください。
  • L-trace、SPA-500系のユニットで電気物性測定を行う場合は、両面金属コートや膜厚100 nm以上のものをお使いください。
  • SI-DF40-で始まるカンチレバーを推奨します。

標準試料・試料台

標準試料

標準試料
名称 HOPG標準試料 校正用スタンダード試料 STS3-1000P 校正用スタンダード試料 STS3-1800P 校正用レファレンス試料 STR10-1000P
コード
K-YSPI000E044

K-YSPI000E045

K-YSPI000E007

K-YSPI1000E008

K-YSPI1000E003
数量 1式 4個/組 1式 1式 1式
内容 試料サイズ
12 mm角
試料サイズ
5 mm角セット
段差1000Å 段差1800Å 段差1000Å
名称 AFM校正用回折格子 AFM校正用
パターン試料
マイカ標準試料 傾斜評価用
標準サンプル
探針評価サンプル
コード
K-YSPI000B020

K-Y10200180

K-YSPI000B001

GCN-0018

GBB-0079
数量 1個 1個 1個 1個 1個
名称 ゲルパック PMMAヤング率測定
標準サンプル
     
コード
K-W10200397

K-YSDM000J001
     
数量 5個/組 1個      

試料台

試料台
名称 試料台(磁石取付に対応)Niメッキ シャーレステージ(液中用)大型試料台付
コード
K-Y10200167

U00063156300

K-YSPI936D016

K-YSPI936D015
数量 10枚/組 10枚/組 1式 1式
内容 試料サイズ 20 mm径用 試料サイズ 30 mm径用 ステージ+樹脂製2個 ステージ+ガラス製2個
名称 インパクトステージ
セット
ウエハー用
断面測定用試料台
E-sweep用
標準試料台
E-sweep用
磁石試料台
コード
K-YSPI936D017

K-YSPI926C009

K-W10200204

K-W10200357
数量 1式 5個/式 3個/式 1式
内容 試料台とスライダー2個      
名称 E-sweep用
加熱冷却試料板
雰囲気遮断試料
ホルダ(平面用)
雰囲気遮断試料
ホルダ(断面用)
雰囲気遮断マスク
(断面用)
コード
K-W10200227

K-W10200749

K-W10200748

K-W10200739
数量 1組 1式 1式 5枚/組
内容 10 mmX10 mmX0.5 mm銅製5枚 雰囲気遮断試料搬送ユニットの構成部材です。
※図1参照
 
名称 ゲルプレート ゲル台    
コード
K-W10200843

U00062376600
   
数量 1個 1個    

図1.雰囲気遮断試料搬送ユニット使用イメージ

雰囲気遮断試料ホルダにより、SEM、IM、SPM間を大気に曝露することなく搬送できるので、2次電池等の評価に最適です。