由于RPF中的氯分布很不均匀，用X射线荧光测量时会采取两种方法。一种是把样品粉碎变成均匀之后测量，另一种是增加测量部位取得平均值的测量方法。但是，粉碎要花费精力，增加测量部位也需要大量的测量时间。如果使用EA6000VX的扫描功能，不仅仅缩短测量时间，还可以特定样品中的均匀部位。
样品图像
| 浓度测量扫描重点分析 | 精细扫描 | |
|---|---|---|
| 管电流 | 50 KV | 50 KV |
| 管电流 | 500 µA | 1000 µA |
| 一次滤波器 | Cl用 | Cl用 |
| 准直器尺寸 | 3 mm | 0.2 mm |
氯的扫描结果
（浓度测量：3分）
氯的扫描结果
（精细：20分）
平均浓度：4759 ppm
重点分析测量结果
（测量时间：100秒×5个）
| 测量部位 | 浓度（ppm） |
|---|---|
| 1 | 1741 |
| 2 | 1423 |
| 3 | 1296 |
| 4 | 1812 |
| 5 | 2440 |
| 平均值 | 1742.4 |
从重点分析测量复数部位的平均值和扫描得到的浓度有很大不同的结果。
精细扫描和重点分析测量部位的比较，浓度最高的部位在重点分析中没有测量到。
因此扫描分析中，在短时间内可以获得样品中的平均浓度。
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