－ 非接触・非破壊で三次元の粗さ・形状、膜厚を測定 －
2015年7月1日
株式会社日立ハイテクノロジーズ（執行役社長：宮﨑正啓）の100%子会社で、分析計測装置を製造販売している株式会社日立ハイテクサイエンス（取締役社長：川崎賢司／以下、日立ハイテクサイエンス）は、このほど微小粗さ・形状および膜厚**の三次元測定を非接触・非破壊で行う走査型白色干渉顕微鏡*1「VS1000シリーズ」4モデル（VS1550、VS1540、VS1530、VS1330）を日本国内で発売しました。従来多く利用されている触針式粗さ計・段差計に比べ非接触で高速かつ容易に三次元の粗さ・形状の測定が行えるとともに、透明な多層構造フィルムの膜厚測定**も可能です。
「VS1330」
3nmの段差測定例
（視野2.1×1.7mm）
フィルム上のフィラー測定例
（視野47×35μm）
近年、電子部品や高機能材料、精密加工部品などの開発・製造・品質管理では数ナノメートルから数十ナノメートルの微小な粗さや形状の測定が求められています。従来の一般的な触針式粗さ計は垂直分解能が100ナノメートル程度に留まっており、主に二次元（線＋高さ）の測定が主体で、測定時間も長くかかっていました。走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」は0.01ナノメートルの垂直分解能（Sq分解能）を有し、三次元（面＋高さ）の微小な粗さ・形状計測を数秒から10秒程度の短時間で非接触に行うことができます。また、透明な多層構造フィルムの膜厚測定**も可能で、従来困難であった界面にある異物、はがれなどの情報も確認できます。さらに専用のソフトにより優れた操作性を実現し、測定後は便利な解析機能で簡単に結果を確認できます。
日立ハイテクサイエンスでは、走査型プローブ顕微鏡（SPM）や走査電子顕微鏡（SEM）等の表面観察装置を取り扱っていますが、今回走査型白色干渉顕微鏡をラインアップに加えることで、シナジーを活かした表面観察ソリューションの提供を進めてまいります。今後、機能性フィルム、半導体、MEMS、自動車、機械および部品メーカー等へ積極的に販売を進めてまいります。
| 型式 | Z軸方向駆動方式 | ステージ仕様（移動量） | 価格（税別） | |
|---|---|---|---|---|
| VS1330 | 小型 | ピエゾ駆動 | X-Y手動ステージ （X:150 mm Y:130 mm） |
990万円～ |
| VS1530 | 中型 | ピエゾ駆動 | X-Y手動ステージ（±50mm） | 1,470万円～ |
| VS1540 | 中型 | ピエゾ駆動 | X-Y自動ステージ（±50mm） | 1,960万円～ |
| VS1550 | 中型 | ピエゾ、モーター駆動 | X-Y自動ステージ（±75mm） | 2,450万円～ |
50台／年間
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