数百名が関わるプロジェクトで、
社内初のセンサを開発しました。

樹本Kimoto

ナノテクノロジーソリューション事業統括本部
評価解析システム製品本部
光学システム設計部
2013年入社

MY WORK

光学検査装置の光系の要素技術と装置自体の性能評価

光学検査装置とは、ICチップの原料となる半導体ウェーハの表面を観察し、品質を確認するための装置です。そのレーザーとセンサの開発、また光学検査装置自体が仕様通りの性能を発揮しているかの評価にも携わっています。

入社後すぐに手掛けた光学検査装置のセンサ開発は、社内で初めて採用する仕様のものでした。海外の大手半導体メーカーの高い要望に対して、世の中ではあまり使われたことがない波長を駆使し、いかに前世代機より高感度のセンサを開発するか。技術的なチャレンジも求められただけに、苦労して完成させた時は大きな達成感を得ましたね。ただ、それ以上に感動したのは、祝賀会パーティーで顧客やパートナー企業、自社の他部門の社員など、社内外で数百名の関係者たちが笑顔になっている時でした。私がその時に開発したセンサは、それ以降の装置でも採用され続けています。