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EDSメーカーは各社ありますが、EDSメーカー共通の内容を記載しました。
またエネルギー分散型蛍光X線分析装置もEDSを使用しており共通の内容となります。
EDSシステムを使用していて、こんな疑問はありませんか？
1．「定性元素名がピークとズレている」
組成が分かっているサンプルでスペクトルを確認します。
エネルギーが離れた2元素で確認をお勧めします。
一例でアルミと銅でご紹介いたします。
試料台（アルミ）に銅を貼り、加速電圧20kVでスペクトルを取得します。銅は銅テープ、銅線や10円玉でも大丈夫です。
上記スペクトルは、Al（アルミ）の元素名がピーク先端からズレが発生しています。
ズレがある場合、定性精度も悪く定量値もズレます。
その場合、キャリブレーション（エネルギー校正）を実施ください。
キャリブレーション（エネルギー校正）の方法は各社EDSメーカーにより異なります。
指定された組成のサンプルを入れて、キャリブレーションスタートボタンを押すだけのメーカーが殆どです。
キャリブレーション実施後は、以下のようにピーク先端に定性元素名が表示され、定性精度、定量精度向上に繋がります。
2．「定性結果が不安、正しいのか？正しくないのか？」
ピーク、デコンボリューションで確認します。
上記の図は、赤色のピークとデコンボリューション（外枠ピーク）とのズレがありますので定性ミスの可能性があります。
ズレはキャリブレーションのズレでも発生しますし、定性した元素の選択ミスでも発生します。
キャリブレーション（エネルギー校正）が行われたEDSシステムを使用し、定性元素を見直す必要がございますのでご確認ください。
3．「過去、分析した結果と比較しピークが太い？少し違和感がある」
以下のスペクトルは同じEDSシステムを使用したSUS材のスペクトルです。
左のスペクトルは細く、右のスペクトルは太い為、各元素が重なった状態です。
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左：分解能良い 右：分解能悪い
EDSの設定には、時定数（Amp Time）があり、アナライザーの処理スピードをコントロール出来るようになっています。
処理スピードが速いと分解能は悪くなり、処理スピードが遅いと分解能が良くなります。
スペクトルに違和感がある時は時定数の設定を見直してください。
※ 時定数はEDSメーカーにより設定項目が数値化され、プロセスタイムなど呼び名が違うケースもございます。
スペクトルに違和感がある際は、元素が分かっている単純な組成のサンプルを入れ、分析してみるのも有効です。
アルミ試料台に銅線を載せ取得したスペクトルですが、元素毎のスペクトルも細くきれいな状態と言えます。
現在販売されている各社EDSは優れた性能を持っています。しかし使用方法を間違えると大きなミスに繋がる事もございます。
ご不明な点がございましたら、気兼ねなく日立ハイテクのコンタクト先までご連絡ください。