普段のSEM観察、こんな“あるある”感じていませんか？
ポイント①：カメラナビゲーションシステムでサンプルを逃さず作業効率化！
SEM像では白黒画像しか得られない為、視野探しが大変です。
日立の最新SEMなら見慣れたカメラ画像を使うので、スムーズに視野探しを行うことができます。
SEM像と連動したカメラ画像をクリックして簡単に視野移動。カメラ画像のズームも可能です。
ポイント②：オート機能でオペレーター負担軽減！
フォーカスや明るさ・コントラストの調整は倍率によっては時間のかかる作業です。
日立の最新SEMなら、オートフォーカスボタン、オート明るさコントラスト調整ボタンの2つをクリックするだけ。新アルゴリズムの自動調整機能が、素早く、オペレータのスキルに依存せず、データ取得をサポートします。
サンプルラテックス粒子 115nm
オート明るさ調整/オートフォーカスイメージ
1万倍
5万倍
ポイント③：自動化機能で業務効率化！
自動化ソフトウェア、EM Flow Creatorはノーコードで自動化業務をブロック/コンテナを使用しフロー化し実行可能です。
倍率やステージ移動などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM作業をブロック化し、組み合わせることで観察レシピを作成・実行します。
またパターンマッチング機能を使用することで、テンプレート画像に登録した試料を識別し自動で画像取得が可能です。
※ EM Flow Creatorはオプションです。
アプリケーション事例のご紹介
日立ハイテクのSEMを用いた、電子部品や樹脂のアプリケーション事例をご紹介いたします。
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