アプリケーションデータ 走査透過電子顕微鏡（STEM）
日立ハイテクが長年蓄積した走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
以下のリストのデータをはじめとした、さまざまなアプリケーションデータは、弊社会員制情報検索サイト「S.I.navi（エスアイナビ）」でご提供しています。
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走査透過電子顕微鏡（STEM）
【STEM019】 HD-2700の新機能SD-STEMの特長とその応用
| 使用装置 | 走査透過電子顕微鏡 HD-2700 |
|---|---|
| キーワード | STEM、暗視野、金属、転位、双晶、オーステナイトステンレス鋼、ADF-STEM像、SD-STEM像、BF-STEM像、二波励起、ウィークビーム |
【STEM017】 球面収差補正機能付きHD-2700を用いた高分解能SEM観察
| 使用装置 | 走査透過電子顕微鏡 HD-2700 |
|---|---|
| キーワード | SEM、走査透過電子顕微鏡、STEM、球面収差補正、Csコレクタ、原子カラム、BF-STEM、ADF-STEM、Au、Si、BaTiO3 |
【STEM016】 球面収差補正機能付きHD-2700による原子カラムSTEM観察およびEELS分析
| 使用装置 | 走査透過電子顕微鏡 HD-2700 |
|---|---|
| キーワード | STEM、球面収差補正、EELS、原子カラム、BF-STEM、ADF-STEM、Si、BaTiO3 |
【STEM015】 HD-2700/NB5000を用いたLSIデバイスの観察
| 使用装置 |
集束イオン/電子ビーム加工観察装置 nanoDUE'T® NB5000 走査透過電子顕微鏡 HD-2700 |
|---|---|
| キーワード | STEM、HAADF-STEM、球面収差補正機能、PMOS、原子カラム、SiGe、High-K |
【STEM010】 球面収差補正つき200kV走査透過電子顕微鏡とその応用（1）
| 使用装置 | 走査透過電子顕微鏡 HD-2700 |
|---|---|
| キーワード | 走査透過電子顕微鏡、STEM、6極子型球面収差補正器（Cs-corrector）、球面収差補正器、高角環状暗視野（HAADF: High Angle Annular Dark Field）STEM像、BF-STEM像、ドーパント元素分布、触媒粒子 |
【STEM009】 HD-2300の120kV STEM像観察機能の応用
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2300 |
|---|---|
| キーワード | STEM、高コントラスト、加速電圧120 kV、トナー、生物切片、Siデバイス |
【STEM008】 高感度EDXシステムを用いたドーパント元素の組成分布像観察
| 使用装置 | 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100 超薄膜評価装置 HD-2300 |
|---|---|
| キーワード | EDX、元素マップSTEM、FIB、マイクロサンプリング法、ドーパント |
【STEM007】 ナノ粒子の高温高分解能STEM観察
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2300 |
|---|---|
| キーワード | STEM、高温高分解能観察、SE像、その場観察、直接加熱、ナノ粒子 |
【STEM006】 HD-2000を用いた化合物半導体の観察
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2000 |
|---|---|
| キーワード | STEM、HAADF、Zコントラスト、FIB、マイクロサンプリング、EDX、化合物半導体 |
【STEM005】 カーボンナノチューブの高温高分解能STEM像観察
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2000 |
|---|---|
| キーワード | カーボンナノチューブ、多層ナノチューブ（multiwalled carbon nanotubes；MWNTs）、単層ナノチューブ（single-walled carbon nanotubes；SWNTs）、走査透過電子顕微鏡、直接加熱方式試料加熱ホルダ、明視野STEM像 |
【STEM004】 HD-2000＋EELSによるSiデバイスのバリアメタル層の分析
| 使用装置 |
超薄膜評価装置 HD-2000 Gatan Digital PEELS |
|---|---|
| キーワード | Siデバイス、STEM、EELS、Spectrum Imaging、Cold-FE |
【STEM003】 HD-2000超薄膜評価装置の電子線回折像観察システムとその応用
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電子線回折像、明視野走査透過像、BF-STEM像検出器、暗視野走査透過像、DF-STEM像検出器、ナノ・プローブ電子線回折像、分解能指数、Siデバイス、セラミックス |
【STEM002】 HD-2000によるGMRヘッドの解析（超精密薄膜加工から観察および分析まで）
| 使用装置 |
集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A 超薄膜評価装置 HD-2000 |
|---|---|
| キーワード | GMR、FIB、フェーズコントラスト像、Zコントラスト像、高感度EDX分析、EDXマッピング、ライン分析 |
【STEM001】 HD-2000によるニューマテリアルキャラクタリゼーション（その1）－触媒への応用－
| 使用装置 | 超薄膜評価装置 HD-2000 |
|---|---|
| キーワード | 触媒、二次電子、BF検出器、HAADF検出器、EDX検出器、明視野走査透過像、暗視野走査透過像、担体、格子像 |
