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アプリケーションデータ 走査透過電子顕微鏡(STEM)

日立ハイテクが長年蓄積した走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
以下のリストのデータをはじめとした、さまざまなアプリケーションデータは、弊社会員制情報検索サイト「S.I.navi(エスアイナビ)」でご提供しています。

S.I.naviへの会員登録は、以下より承っております。

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ユーザー限定

「S.I.navi」内の日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」でご提供しています。「S.I.navi」サイトで、ご使用製品に日立電子顕微鏡をご登録いただくと、「Semevolution」の閲覧が可能になります。

走査透過電子顕微鏡(STEM)

【STEM019】 HD-2700の新機能SD-STEMの特長とその応用

使用装置 走査透過電子顕微鏡 HD-2700
キーワード STEM、暗視野、金属、転位、双晶、オーステナイトステンレス鋼、ADF-STEM像、SD-STEM像、BF-STEM像、二波励起、ウィークビーム

【STEM017】 球面収差補正機能付きHD-2700を用いた高分解能SEM観察

使用装置 走査透過電子顕微鏡 HD-2700
キーワード SEM、走査透過電子顕微鏡、STEM、球面収差補正、Csコレクタ、原子カラム、BF-STEM、ADF-STEM、Au、Si、BaTiO3

【STEM016】 球面収差補正機能付きHD-2700による原子カラムSTEM観察およびEELS分析

使用装置 走査透過電子顕微鏡 HD-2700
キーワード STEM、球面収差補正、EELS、原子カラム、BF-STEM、ADF-STEM、Si、BaTiO3

【STEM015】 HD-2700/NB5000を用いたLSIデバイスの観察

使用装置 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 nanoDUE'T® NB5000
走査透過電子顕微鏡 HD-2700
キーワード STEM、HAADF-STEM、球面収差補正機能、PMOS、原子カラム、SiGe、High-K

【STEM010】 球面収差補正つき200kV走査透過電子顕微鏡とその応用(1)

使用装置 走査透過電子顕微鏡 HD-2700
キーワード 走査透過電子顕微鏡、STEM、6極子型球面収差補正器(Cs-corrector)、球面収差補正器、高角環状暗視野(HAADF: High Angle Annular Dark Field)STEM像、BF-STEM像、ドーパント元素分布、触媒粒子

【STEM009】 HD-2300の120kV STEM像観察機能の応用 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2300
キーワード STEM、高コントラスト、加速電圧120 kV、トナー、生物切片、Siデバイス

【STEM008】 高感度EDXシステムを用いたドーパント元素の組成分布像観察 ユーザー限定

使用装置 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100
超薄膜評価装置 HD-2300
キーワード EDX、元素マップSTEM、FIB、マイクロサンプリング法、ドーパント

【STEM007】 ナノ粒子の高温高分解能STEM観察 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2300
キーワード STEM、高温高分解能観察、SE像、その場観察、直接加熱、ナノ粒子

【STEM006】 HD-2000を用いた化合物半導体の観察 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2000
キーワード STEM、HAADF、Zコントラスト、FIB、マイクロサンプリング、EDX、化合物半導体

【STEM005】 カーボンナノチューブの高温高分解能STEM像観察 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2000
キーワード カーボンナノチューブ、多層ナノチューブ(multiwalled carbon nanotubes;MWNTs)、単層ナノチューブ(single-walled carbon nanotubes;SWNTs)、走査透過電子顕微鏡、直接加熱方式試料加熱ホルダ、明視野STEM像

【STEM004】 HD-2000+EELSによるSiデバイスのバリアメタル層の分析 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2000
Gatan Digital PEELS
キーワード Siデバイス、STEM、EELS、Spectrum Imaging、Cold-FE

【STEM003】 HD-2000超薄膜評価装置の電子線回折像観察システムとその応用 ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2000
キーワード 電子線回折像、明視野走査透過像、BF-STEM像検出器、暗視野走査透過像、DF-STEM像検出器、ナノ・プローブ電子線回折像、分解能指数、Siデバイス、セラミックス

【STEM002】 HD-2000によるGMRヘッドの解析(超精密薄膜加工から観察および分析まで) ユーザー限定

使用装置 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A
超薄膜評価装置 HD-2000
キーワード GMR、FIB、フェーズコントラスト像、Zコントラスト像、高感度EDX分析、EDXマッピング、ライン分析

【STEM001】 HD-2000によるニューマテリアルキャラクタリゼーション(その1)-触媒への応用- ユーザー限定

使用装置 超薄膜評価装置 HD-2000
キーワード 触媒、二次電子、BF検出器、HAADF検出器、EDX検出器、明視野走査透過像、暗視野走査透過像、担体、格子像

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