アプリケーションデータ 透過電子顕微鏡（TEM）
日立ハイテクが長年蓄積した走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
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透過電子顕微鏡（TEM）
【TEM142】 HF-3300を用いたPt/C触媒試料のSEM/STEM同時その場観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、SEM、その場観察、触媒、燃料電池 |
【TEM140】 HT7700用 走査透過像観察装置（STEM）の材料分野への応用（1）
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 HT7700 |
|---|---|
| キーワード | 走査透過像観察装置（STEM）、色収差、厚い試料、明視野（BF）像、暗視野（DF）像、高角散乱電子、散乱コントラスト、回折コントラスト、組成コントラスト、金属触媒含有カーボンナノチューブ、トナー粒子、SUS鋼板、分布状態、結晶方位、転位網、格子歪 |
【TEM139】 HT7700透過電子顕微鏡の材料分野への応用（1）
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 HT7700 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、高分解能観察モード、デジタルカメラ、カーボンナノホーン、多層カーボンナノチューブ、MWNT |
【TEM137】 腎臓疾患病態解析へのTEM応用
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、病理組織、バイオプシー、針生検、腎臓、腎臓疾患、膜性腎症、ループス腎炎、基底膜、メサンギウム、つなぎ写真 |
【TEM136】 白金担持触媒の高分解能三次元TEM解析
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9500 |
|---|---|
| キーワード | TEM、3D解析ホルダー、白金担持触媒、高分解能三次元TEM観察、電子線トモグラフィー、SIR、全方位回転 |
【TEM135】 ナノ電子線回折法を用いた半導体デバイスの歪み計測
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出形透過電子顕微鏡、ナノ電子線回折法、格子歪み、MOS |
【TEM133】 位置分解型EELS法を用いた積層膜の高精度分析
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、冷陰極電界放出形電子銃、高エネルギー分解能、位置分解型EELS、積層膜、エネルギーシフト |
【TEM132】 SiO2上Sn 酸化過程の高分解能観察およびEELS分析
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9500 |
|---|---|
| キーワード | ガス導入機構付き試料加熱ホルダ、TEM、Snナノ粒子、酸化過程、その場観察、高分解能観察、EELS分析 |
【TEM131】 電子線トモグラフィーのバイオ応用（1）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、トモグラフィー、三次元構造解析、フリーズエッチングレプリカ、NRK細胞、トポグラフィーに基づく再構成法（Topography Based Reconstruction : TBR）、セグメンテーション |
【TEM123】 透過電子顕微鏡によるアスベスト分析
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、エネルギー分散型Ｘ線分析装置、アスベスト、クリソタイル、クロシドライト、アンソフィライト、アモサイト、高分解能像観察、元素分析、制限視野電子線回折、結晶構造 |
【TEM122】 H-7650におけるTEMトモグラフィー用3D再構成システムとその応用（3）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、白金クラスター、カーボンナノ粒子、トモグラフィー、 トポグラフィーに基づく再構成法（Topography Based Reconstruction : TBR）、セグメンテーション |
【TEM121】 H-7650におけるTEMトモグラフィー用3D再構成システムとその応用（2）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、トモグラフィー、重み付け逆投影法 （Weighted Back Projection :WBP）、トポグラフィー計測に基づく再構成法（Topography Based Reconstruction :TBR） |
【TEM120】 H-7650透過電子顕微鏡の材料分野への応用（1）カーボンナノホ一ンの高解像度観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、高解像度観察モード、デジタルカメラ、カーボンナノホーン、単層カーボンナノチューブ |
【TEM119】 透過電子顕微鏡H-7650の機能とその応用（2）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、高コントラストモード、スロースキャンCCDカメラ、ヒト腎臓、無染色切片 |
【TEM118】 電子線トモグラフィー用3D-TEMシステムとその応用（1）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 電子線トモグラフィー、透過電子顕微鏡、ユーセントリックサイドエントリーステージ、試料傾斜、三次元再構成、WBP；Weighted Back Projection、重み付け逆投影法、SIR； Simultaneous Iterative Reconstruction、代数的反復法、DSM；Dynamic Shell Modeling、 ダイナミックシェルモデリング法、三次元表示、ウシ小脳、急速凍結・ディープエッチレプリカ |
【TEM117】 H-9500透過電子顕微鏡の機能と高分解能観察例
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9500 |
|---|---|
| キーワード | TEM像、デジタル画像、高分解能撮影、PC制御 |
【TEM116】 新型透過電子顕微鏡H-7650の機能とその応用（1）
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7650 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、高コントラスト（HC）モード、高分解能（HR）モード、スロースキャンCCDカメラ、デジタルカメラ、デジタルオートモンタージュ機能、ヒト腎臓、ラット小脳、ウニ型成長カーボンナノチューブ |
【TEM115】 H-7600によるカーボンナノチューブの観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、スロースキャンCCDカメラ、試料傾斜、金属触媒、ウニ型カーボンナノチューブ、ハイウェイ-ジャンクション型カーボンナノチューブ |
【TEM114】 H-7600の自動試料傾斜像記録機能によるレプリカ試料の立体構造観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、自動試料傾斜像記録機能、コンピュータトモグラフィー（CT）法、急速凍結レプリカ法、シナプス、シナプス小胞 |
【TEM113】 H-7600の自動試料傾斜像記録機能による機能タンパク質の立体構造観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、自動試料傾斜像記録機能、急速凍結ディープエッチレプリカ法、ウシ小脳、イノシトール三リン酸レセプター |
【TEM112】 H-7600による生物試料のデジタルTEM像観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|
【TEM111】 H-7600を用いた高角度試料傾斜によるミオシン分子の三次元構造観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、電子線コンピュータトモグラフィー、ミオシン分子、試料傾斜 |
【TEM110】 H-7600の機能とその応用（3）
－医学生物分野における画像データベースの活用－
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、デジタル画像、加圧凍結法、免疫電顕法 |
【TEM109】 カーボンナノチューブの高温高分解能観察およびEELS分析
| 使用装置 | 電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 |
|---|---|
| キーワード | カーボンナノチューブ、冷陰極電界放出形透過電子顕微鏡、ダイレクトヒーティングホルダ、多層ナノチューブ（MWNTs：multi-walled carbon nanotubes）、単層ナノチューブ（SWNT：Single walled nano tube）、グラフェン、EELS（電子線エネルギー損失分光、EELS：Electron Energy Loss Spectroscopy）分析 |
【TEM108】 H-7600の機能とその応用（2）
－高品位デジタルTEM画像の病理分野への応用－
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、デジタル画像、オートフォーカス機能、腎臓、胚芽性腺肉腫、ウイルムス腫瘍、ループス腎炎、アミロイドーシス |
【TEM107】 カーボンナノチューブの室温および高温での高分解能観察
| 使用装置 | 電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 |
|---|---|
| キーワード | カーボンナオチューブ、冷陰極電界放出形透過電子顕微鏡、ダイレクトヒーティングホルダー、グラファイトシート、多層ナノチューブ（multiwalled carbon nanotubes；MWNTs） |
【TEM106】 H-7600における自動粒子検索システムとその応用
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、自動粒子検索システム、オートフォーカス機能、培養細胞、アデノウイルス |
【TEM105】 金属材料析出過程の高温その場観察とEELS分析
| 使用装置 | 電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 |
|---|---|
| キーワード | 加熱ホルダー、その場観察、分析電子顕微鏡、EELS、金属、析出物 |
【TEM104】 FIB/TEMシステムによる金属中の微小析出物断面構造解析
| 使用装置 |
電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A |
|---|---|
| キーワード | 集束イオンビーム、高加速二次電子像、STEM像、組成分布像 |
【TEM103】 H-7600の機能とその応用（1）
－オートフォーカス機能－
| 使用装置 | 電子顕微鏡 H-7600 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、オートフォーカス機能、位相限定相関法、アデノウイルス、ヒト膵臓 |
【TEM102】 H-7500のトータルシステム化とその応用
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、EDX装置、STEM像、元素マッピング、ヒト肺、ヒト皮膚、ラット腎臓 |
【TEM100】 H-7500による試料自動検索システムとその応用
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、試料自動検索システム、ウイルス、ネガティブ染色 |
【TEM099】 HD-2000で観る64M-DRAM（薄膜加工からナノ領域の分析まで）
| 使用装置 |
超薄膜評価装置 HD-2000 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A |
|---|---|
| キーワード | 高加速二次電子像、Zコントラスト像、フェーズコントラスト像、Siデバイス、高感度EDX分析、測長、画像処理 |
【TEM098】 イメージングEELS法による状態変化の動的観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、GIF、EELS、沿製造観察、動的観察、加熱ホールダ、状態変化観察 |
【TEM097】 FIB/TEMシステムによる電子デバイス微小欠陥解析
| 使用装置 |
超薄膜評価装置 HD-2000 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A |
|---|---|
| キーワード | STEM像、高加速SEM像、疑似欠陥、ドリル穴先端部、イオンダメージ層 |
【TEM096】 H-7500による粉体試料のEDX分析
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、X線分析、粉体試料 |
【TEM095】 ヒト歯牙エナメル質のFIBによる薄膜化とその断面TEM観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A |
|---|---|
| キーワード | 集束イオンビーム、断面TEM試料作製、エナメル質ハイドロキシアパタイト |
【TEM094】 Bio-TEM H-7500によるウィルスの観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、インフルエンザウイルス、アデノウイルス、λファージ、SRSV小型球形ウイルス、ネガティブ染色法 |
【TEM093】 HF-2000+GIFによるSiデバイスのONO膜観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、GIF、EELS、組成像観察、半導体デバイス、集束イオンビーム |
【TEM092】 新型Bio-TEM H-7500の機能とその応用（2）
－3個取り試料ホルダーとマイクロトレース機能－
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、3個取り試料ホルダー、マイクロトレース機能、試料位置記憶機能 |
【TEM091】 厚い半導体試料のエネルギーフィルター像観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡EF-1000 |
|---|---|
| キーワード | エネルギーフィルタ像、16M-DRAM、集束イオンビーム加工、プラズモンロス電子 |
【TEM090】 FIB加工と高加速SEM像観察によるデバイスの断面TEM試料作製とその観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A |
|---|---|
| キーワード | 集束イオンビーム、高加速二次電子像、1GDRAM、断面TEM試料作製、SIM（Scanning Ion Microscope）像、コンタクトホール、ステレオ観察、メモリーセル、キャパシタ、ビットライン、COB（capacitor over bitline）、ワードライン、層間絶縁膜 |
【TEM089】 HF-2000+GIFによるナノ領域軽元素組成像観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、EELS、組成像観察、セラミックス |
【TEM088】 FIBによる16M-DRAMのTEM試料作製とその高電圧二次電子像観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 |
|---|---|
| キーワード | 高電圧二次電子像、16M-DRAM、ラインプロファイル |
【TEM087】 新型Bio-TEM H-7500の機能とその応用（1）
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7500 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、スティグモニター機能、オートモンタージュ機能、つなぎ写真、極低倍観察 |
【TEM086】 TEM用高感度TVシステム（UTK-2000）の応用
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR |
|---|---|
| キーワード | ゼオライト、結晶構造解析、LOW DOSE（ロー・ドース）撮影法、faujasite、構造像、FFT（フーリエ変換）像 |
【TEM083】 光磁気ディスクのFIBによる薄膜化とその断面観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 |
|---|---|
| キーワード | 集束イオンビーム、断面TEM試料作製、エッチングレート、複合材料、光磁気ディスク |
【TEM082】 ESI法の生物試料への応用 厚切り切片のゼロロス像観察
| 使用装置 | 電子顕微鏡EF-1000 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、EF-1000、厚切り切片、生物試料、ゼロロス像 |
【TEM081】 クライオトランスファー法による植物ウィルスの極低温観察
| 使用装置 | 日立透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、植物ウイルス、クライオトランスファー法、氷包埋法、ロードース |
【TEM080】 HF-2000によるナノエリア組成像観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、EDX、デジタルマッピング、STEM |
【TEM079】 FE-TEMによるFIB加工金属薄膜の組成像観察
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、EDX、デジタルマッピング、STEM、FIB |
【TEM078】 リアルタイムフーリエ変換装置を用いたポリマーアロイ構造解析
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|---|
| キーワード | リアルタイムフーリエ変換、ポリマーアロイ、透過電子顕微鏡 |
【TEM077】 ESI法の生物試料への応用 厚切り切片のゼロロス像観察
| 使用装置 | γフィルターTEM |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、γフィルターTEM、厚切り切片、生物試料、ゼロロス像 |
【TEM076】 H-7100透過電子顕微鏡によるつなぎ写真の作製
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、児童連続視野撮影装置、つなぎ写真、IMPRINT MOSAICソフトウェア |
【TEM075】 TEMによるSi-W-Oウィスカーの合成
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、ウィスカー、熱処理、試料予備排気室、アモルファス化、原子像 |
【TEM074】 透過電子顕微鏡の楽しみ－日本電子顕微鏡学会 写真コンクールより－
【TEM073】 スロースキャンCCD-TVシステムによる有機材料の結晶構造確認
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|---|
| キーワード | スロースキャンCCD、オンラインシステム、画像処理、シミュレーション |
【TEM072】 HF-2000による組成像観察とその応用
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、STEM、HAADF、EDXマッピング、ライン分析、アニュラー検出器 |
【TEM071】 H-7100透過電子顕微鏡による高分子材料のSTEM観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、走査透過像観察装置、高分子材料、無染色凍結切片、走査透過像（STEM像） |
【TEM070】 H-7100透過電子顕微鏡によるつなぎ写真の撮影
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、自動連続視野撮影装置、つなぎ写真、オートビームクッキング機能、自動サーチ機能、試料位置メモリー機能 |
【TEM069】 スロースキャンCCD-TVシステムによるバクテリアの観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|---|
| キーワード | スロースキャンCCD、オンラインシステム、画像処理 |
【TEM068】 H-9000NARによる高温高分解能観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR |
|---|---|
| キーワード | 動的観察、結晶格子像、電子線回折像、EDX分析、融点、高分解能観察、グラファイト |
【TEM067】 HF-2000によるローレンツ顕微鏡法とその応用
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 磁区観察、ローレンツ顕微鏡、冷陰極電界放出型電子銃、コバルト、分析電子顕微鏡 |
【TEM066】 EELSによる試料の厚さ測定
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 冷陰極電界放出電子銃、EELS、試料厚さ測定 |
【TEM065】 FIBによるTEM断面試料作製とその分析
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR 集束イオンビーム加工観察装置 FB-4080 |
|---|---|
| キーワード | 集束イオンビーム、断面TEM観察、イオンシニング法、走査イオン顕微鏡像、ダイシングソー、粗加工、中加工、仕上げ加工、分析電子顕微鏡、FIB、SIM、TEM、EDX |
【TEM064】 高分子材料の引っ張りその場観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|---|
| キーワード | 高分子材料、引っ張り、Alメッシュ、クレーズ、無染色・凍結 |
【TEM063】 HF-2000によるマッピングとライン分析の応用
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、STEM、EDXマッピング、ライン分析、アニュラー検出器、HAADF |
【TEM062】 乳製品の透過電子顕微鏡観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過電子顕微鏡、乳製品、樹脂包埋超薄切片、凍結割断レプリカ |
【TEM061】 大豆とその加工品の電子顕微鏡観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過型電子顕微鏡、大豆とその加工品、固定・包埋、超薄切片 |
【TEM060】 Si自然酸化膜の極微小部EELS分析
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、EELS、自然酸化膜、極微小部分析 |
【TEM059】 スロースキャンCCD-TVシステムによるオートチューニング
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|---|
| キーワード | スロースキャンCCD、オンラインシステム、オートチューニング、オートスティグマ、オートフォーカス |
【TEM058】 H-7100透過電子顕微鏡による植物細菌およびウイルスの観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | ネガティブ染色法、植物細菌、植物ウイルス、透過電子顕微鏡 |
【TEM057】 パラフィン結晶の低温高分解能観察
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-8100 |
|---|
【TEM056】 スロースキャンCCD-TVシステムの応用 その1:性能の確認と材料への応用
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-9000NAR |
|---|---|
| キーワード | Slow scan CCD、線分解能、画素、感度、スルーフォーカス、オンライン、フーリエ変換、フィルタリング |
【TEM055】 ステップスポットスキャンTEM（SSSTEM）法とその応用
| 使用装置 | 透過電子顕微鏡 H-7100 |
|---|---|
| キーワード | 透過形電子顕微鏡、ステップスポットスキャンTEM法（SSSTEM法）、試料傾斜、自動焦点補正機能（ダイナミックフォーカス）、ロードース照射法 |
【TEM054】
HF-2000形によるEDX分析の空間分解能
| 使用装置 | 電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 |
|---|---|
| キーワード | 電界放出電子顕微鏡、析出物、極微小部分析、EDX |
