透過電子顕微鏡（TEM）

日立ハイテクが長年蓄積した走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
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Data No.	タイトル
TEM144	EXALENSを搭載した日立透過電子顕微鏡HT7700による高分解能TEM観察
TEM144	使用装置：透過電子顕微鏡 HT7700 キーワード：透過電子顕微鏡、EXALENS、高分解能レンズ、複合対物レンズ、高分解能観察モード、広範囲加速電圧、低加速電圧、ナノマテリアル
TEM142	HF-3300を用いたPt/C触媒試料のSEM/STEM同時その場観察
TEM142	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 キーワード：透過電子顕微鏡、SEM、その場観察、触媒、燃料電池
TEM140	HT7700用走査透過像観察装置（STEM）の材料分野への応用（1）
TEM140	使用装置：透過電子顕微鏡 HT7700 キーワード：走査透過像観察装置（STEM）、色収差、厚い試料、明視野（BF）像、暗視野（DF）像、高角散乱電子、散乱コントラスト、回折コントラスト、組成コントラスト、金属触媒含有カーボンナノチューブ、トナー粒子、SUS鋼板、分布状態、結晶方位、転位網、格子歪
TEM139	HT7700透過電子顕微鏡の材料分野への応用（1）
TEM139	使用装置：透過電子顕微鏡 HT7700 キーワード：透過電子顕微鏡、高分解能観察モード、デジタルカメラ、カーボンナノホーン、多層カーボンナノチューブ、MWNT
TEM137	腎臓疾患病態解析へのTEM応用
TEM137	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、病理組織、バイオプシー、針生検、腎臓、腎臓疾患、膜性腎症、ループス腎炎、基底膜、メサンギウム、つなぎ写真
TEM136	白金担持触媒の高分解能三次元TEM解析
TEM136	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9500 キーワード：TEM、3D解析ホルダー、白金担持触媒、高分解能三次元TEM観察、電子線トモグラフィー、SIR、全方位回転
TEM135	ナノ電子線回折法を用いた半導体デバイスの歪み計測
TEM135	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 キーワード：電界放出形透過電子顕微鏡、ナノ電子線回折法、格子歪み、MOS
TEM133	位置分解型EELS法を用いた積層膜の高精度分析
TEM133	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 キーワード：透過電子顕微鏡、冷陰極電界放出形電子銃、高エネルギー分解能、位置分解型EELS、積層膜、エネルギーシフト
TEM132	SiO2上Sn 酸化過程の高分解能観察およびEELS分析
TEM132	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9500 キーワード：ガス導入機構付き試料加熱ホルダ、TEM、Snナノ粒子、酸化過程、その場観察、高分解能観察、EELS分析
TEM131	電子線トモグラフィーのバイオ応用（1）
TEM131	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、トモグラフィー、三次元構造解析、フリーズエッチングレプリカ、NRK細胞、トポグラフィーに基づく再構成法（Topography Based Reconstruction : TBR）、セグメンテーション
TEM123	透過電子顕微鏡によるアスベスト分析
TEM123	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、エネルギー分散型Ｘ線分析装置、アスベスト、クリソタイル、クロシドライト、アンソフィライト、アモサイト、高分解能像観察、元素分析、制限視野電子線回折、結晶構造
TEM122	H-7650におけるTEMトモグラフィー用3D再構成システムとその応用（3）
TEM122	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、白金クラスター、カーボンナノ粒子、トモグラフィー、トポグラフィーに基づく再構成法（Topography Based Reconstruction : TBR）、セグメンテーション
TEM121	H-7650におけるTEMトモグラフィー用3D再構成システムとその応用（2）
TEM121	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、トモグラフィー、重み付け逆投影法（Weighted Back Projection :WBP）、トポグラフィー計測に基づく再構成法（Topography Based Reconstruction :TBR）
TEM120	H-7650透過電子顕微鏡の材料分野への応用（1）カーボンナノホ一ンの高解像度観察
TEM120	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、高解像度観察モード、デジタルカメラ、カーボンナノホーン、単層カーボンナノチューブ
TEM119	透過電子顕微鏡H-7650の機能とその応用（2）
TEM119	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、高コントラストモード、スロースキャンCCDカメラ、ヒト腎臓、無染色切片
TEM118	電子線トモグラフィー用3D-TEMシステムとその応用（1）
TEM118	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：電子線トモグラフィー、透過電子顕微鏡、ユーセントリックサイドエントリーステージ、試料傾斜、三次元再構成、WBP；Weighted Back Projection、重み付け逆投影法、SIR； Simultaneous Iterative Reconstruction、代数的反復法、DSM；Dynamic Shell Modeling、ダイナミックシェルモデリング法、三次元表示、ウシ小脳、急速凍結・ディープエッチレプリカ
TEM117	H-9500透過電子顕微鏡の機能と高分解能観察例
TEM117	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9500 キーワード：TEM像、デジタル画像、高分解能撮影、PC制御
TEM116	新型透過電子顕微鏡H-7650の機能とその応用（1）
TEM116	使用装置：電子顕微鏡 H-7650 キーワード：透過電子顕微鏡、高コントラスト（HC）モード、高分解能（HR）モード、スロースキャンCCDカメラ、デジタルカメラ、デジタルオートモンタージュ機能、ヒト腎臓、ラット小脳、ウニ型成長カーボンナノチューブ
TEM115	H-7600によるカーボンナノチューブの観察
TEM115	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、スロースキャンCCDカメラ、試料傾斜、金属触媒、ウニ型カーボンナノチューブ、ハイウェイ-ジャンクション型カーボンナノチューブ
TEM114	H-7600の自動試料傾斜像記録機能によるレプリカ試料の立体構造観察
TEM114	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、自動試料傾斜像記録機能、コンピュータトモグラフィー（CT）法、急速凍結レプリカ法、シナプス、シナプス小胞
TEM113	H-7600の自動試料傾斜像記録機能による機能タンパク質の立体構造観察
TEM113	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、自動試料傾斜像記録機能、急速凍結ディープエッチレプリカ法、ウシ小脳、イノシトール三リン酸レセプター
TEM112	H-7600による生物試料のデジタルTEM像観察
TEM112	使用装置：電子顕微鏡 H-7600
TEM111	H-7600を用いた高角度試料傾斜によるミオシン分子の三次元構造観察
TEM111	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、電子線コンピュータトモグラフィー、ミオシン分子、試料傾斜
TEM110	H-7600の機能とその応用（3）－医学生物分野における画像データベースの活用－
TEM110	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、デジタル画像、加圧凍結法、免疫電顕法
TEM109	カーボンナノチューブの高温高分解能観察およびEELS分析
TEM109	使用装置：電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 キーワード：カーボンナノチューブ、冷陰極電界放出形透過電子顕微鏡、ダイレクトヒーティングホルダ、多層ナノチューブ（MWNTs：multi-walled carbon nanotubes）、単層ナノチューブ（SWNT：Single walled nano tube）、グラフェン、EELS（電子線エネルギー損失分光、EELS：Electron Energy Loss　Spectroscopy）分析
TEM108	H-7600の機能とその応用（2）－高品位デジタルTEM画像の病理分野への応用－
TEM108	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、デジタル画像、オートフォーカス機能、腎臓、胚芽性腺肉腫、ウイルムス腫瘍、ループス腎炎、アミロイドーシス
TEM107	カーボンナノチューブの室温および高温での高分解能観察
TEM107	使用装置：電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 キーワード：カーボンナオチューブ、冷陰極電界放出形透過電子顕微鏡、ダイレクトヒーティングホルダー、グラファイトシート、多層ナノチューブ（multiwalled carbon nanotubes；MWNTs）
TEM106	H-7600における自動粒子検索システムとその応用
TEM106	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、自動粒子検索システム、オートフォーカス機能、培養細胞、アデノウイルス
TEM105	金属材料析出過程の高温その場観察とEELS分析
TEM105	使用装置：電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 キーワード：加熱ホルダー、その場観察、分析電子顕微鏡、EELS、金属、析出物
TEM104	FIB/TEMシステムによる金属中の微小析出物断面構造解析
TEM104	使用装置：電界放出形分析電子顕微鏡 HF-2200 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A キーワード：集束イオンビーム、高加速二次電子像、STEM像、組成分布像
TEM103	H-7600の機能とその応用（1）－オートフォーカス機能－
TEM103	使用装置：電子顕微鏡 H-7600 キーワード：透過電子顕微鏡、オートフォーカス機能、位相限定相関法、アデノウイルス、ヒト膵臓
TEM102	H-7500のトータルシステム化とその応用
TEM102	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、EDX装置、STEM像、元素マッピング、ヒト肺、ヒト皮膚、ラット腎臓
TEM100	H-7500による試料自動検索システムとその応用
TEM100	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、試料自動検索システム、ウイルス、ネガティブ染色
TEM099	HD-2000で観る64M-DRAM（薄膜加工からナノ領域の分析まで）
TEM099	使用装置：超薄膜評価装置 HD-2000 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A キーワード：高加速二次電子像、Zコントラスト像、フェーズコントラスト像、Siデバイス、高感度EDX分析、測長、画像処理
TEM098	イメージングEELS法による状態変化の動的観察
TEM098	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、GIF、EELS、沿製造観察、動的観察、加熱ホールダ、状態変化観察
TEM097	FIB/TEMシステムによる電子デバイス微小欠陥解析
TEM097	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A キーワード：STEM像、高加速SEM像、疑似欠陥、ドリル穴先端部、イオンダメージ層
TEM096	H-7500による粉体試料のEDX分析
TEM096	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、X線分析、粉体試料
TEM095	ヒト歯牙エナメル質のFIBによる薄膜化とその断面TEM観察
TEM095	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A キーワード：集束イオンビーム、断面TEM試料作製、エナメル質ハイドロキシアパタイト
TEM094	Bio-TEM H-7500によるウィルスの観察
TEM094	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、インフルエンザウイルス、アデノウイルス、λファージ、SRSV小型球形ウイルス、ネガティブ染色法
TEM093	HF-2000+GIFによるSiデバイスのONO膜観察
TEM093	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、GIF、EELS、組成像観察、半導体デバイス、集束イオンビーム
TEM092	新型Bio-TEM H-7500の機能とその応用（2）－3個取り試料ホルダーとマイクロトレース機能－
TEM092	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、3個取り試料ホルダー、マイクロトレース機能、試料位置記憶機能
TEM091	厚い半導体試料のエネルギーフィルター像観察
TEM091	使用装置：電子顕微鏡EF-1000 キーワード：エネルギーフィルタ像、16M-DRAM、集束イオンビーム加工、プラズモンロス電子
TEM090	FIB加工と高加速SEM像観察によるデバイスの断面TEM試料作製とその観察
TEM090	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A キーワード：集束イオンビーム、高加速二次電子像、1GDRAM、断面TEM試料作製、SIM（Scanning Ion Microscope）像、コンタクトホール、ステレオ観察、メモリーセル、キャパシタ、ビットライン、COB（capacitor over bitline）、ワードライン、層間絶縁膜
TEM089	HF-2000+GIFによるナノ領域軽元素組成像観察
TEM089	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、EELS、組成像観察、セラミックス
TEM088	FIBによる16M-DRAMのTEM試料作製とその高電圧二次電子像観察
TEM088	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 キーワード：高電圧二次電子像、16M-DRAM、ラインプロファイル
TEM087	新型Bio-TEM　H-7500の機能とその応用（1）
TEM087	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7500 キーワード：透過電子顕微鏡、スティグモニター機能、オートモンタージュ機能、つなぎ写真、極低倍観察
TEM086	TEM用高感度TVシステム（UTK-2000）の応用
TEM086	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR キーワード：ゼオライト、結晶構造解析、LOW DOSE（ロー・ドース）撮影法、faujasite、構造像、FFT（フーリエ変換）像
TEM083	光磁気ディスクのFIBによる薄膜化とその断面観察
TEM083	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 キーワード：集束イオンビーム、断面TEM試料作製、エッチングレート、複合材料、光磁気ディスク
TEM082	ESI法の生物試料への応用厚切り切片のゼロロス像観察
TEM082	使用装置：電子顕微鏡EF-1000 キーワード：透過電子顕微鏡、EF-1000、厚切り切片、生物試料、ゼロロス像
TEM081	クライオトランスファー法による植物ウィルスの極低温観察
TEM081	使用装置：日立透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過電子顕微鏡、植物ウイルス、クライオトランスファー法、氷包埋法、ロードース
TEM080	HF-2000によるナノエリア組成像観察
TEM080	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、EDX、デジタルマッピング、STEM
TEM079	FE-TEMによるFIB加工金属薄膜の組成像観察
TEM079	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、EDX、デジタルマッピング、STEM、FIB
TEM078	リアルタイムフーリエ変換装置を用いたポリマーアロイ構造解析
TEM078	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100 キーワード：リアルタイムフーリエ変換、ポリマーアロイ、透過電子顕微鏡
TEM077	ESI法の生物試料への応用　厚切り切片のゼロロス像観察
TEM077	使用装置： γフィルターTEM キーワード：透過電子顕微鏡、γフィルターTEM、厚切り切片、生物試料、ゼロロス像
TEM076	H-7100透過電子顕微鏡によるつなぎ写真の作製
TEM076	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過電子顕微鏡、児童連続視野撮影装置、つなぎ写真、IMPRINT MOSAICソフトウェア
TEM075	TEMによるSi-W-Oウィスカーの合成
TEM075	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR キーワード：透過電子顕微鏡、ウィスカー、熱処理、試料予備排気室、アモルファス化、原子像
TEM074	透過電子顕微鏡の楽しみ－日本電子顕微鏡学会写真コンクールより－
TEM073	スロースキャンCCD-TVシステムによる有機材料の結晶構造確認
TEM073	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100 キーワード：スロースキャンCCD、オンラインシステム、画像処理、シミュレーション
TEM072	HF-2000による組成像観察とその応用
TEM072	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、STEM、HAADF、EDXマッピング、ライン分析、アニュラー検出器
TEM071	H-7100透過電子顕微鏡による高分子材料のSTEM観察
TEM071	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過電子顕微鏡、走査透過像観察装置、高分子材料、無染色凍結切片、走査透過像（STEM像）
TEM070	H-7100透過電子顕微鏡によるつなぎ写真の撮影
TEM070	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過電子顕微鏡、自動連続視野撮影装置、つなぎ写真、オートビームクッキング機能、自動サーチ機能、試料位置メモリー機能
TEM069	スロースキャンCCD-TVシステムによるバクテリアの観察
TEM069	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100 キーワード：スロースキャンCCD、オンラインシステム、画像処理
TEM068	H-9000NARによる高温高分解能観察
TEM068	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR キーワード：動的観察、結晶格子像、電子線回折像、EDX分析、融点、高分解能観察、グラファイト
TEM067	HF-2000によるローレンツ顕微鏡法とその応用
TEM067	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：磁区観察、ローレンツ顕微鏡、冷陰極電界放出型電子銃、コバルト、分析電子顕微鏡
TEM066	EELSによる試料の厚さ測定
TEM066	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：冷陰極電界放出電子銃、EELS、試料厚さ測定
TEM065	FIBによるTEM断面試料作製とその分析
TEM065	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR 　　　　　集束イオンビーム加工観察装置 FB-4080 キーワード：集束イオンビーム、断面TEM観察、イオンシニング法、走査イオン顕微鏡像、ダイシングソー、粗加工、中加工、仕上げ加工、分析電子顕微鏡、FIB、SIM、TEM、EDX
TEM064	高分子材料の引っ張りその場観察
TEM064	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100 キーワード：高分子材料、引っ張り、Alメッシュ、クレーズ、無染色・凍結
TEM063	HF-2000によるマッピングとライン分析の応用
TEM063	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、STEM、EDXマッピング、ライン分析、アニュラー検出器、HAADF
TEM062	乳製品の透過電子顕微鏡観察
TEM062	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過電子顕微鏡、乳製品、樹脂包埋超薄切片、凍結割断レプリカ
TEM061	大豆とその加工品の電子顕微鏡観察
TEM061	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過型電子顕微鏡、大豆とその加工品、固定・包埋、超薄切片
TEM060	Si自然酸化膜の極微小部EELS分析
TEM060	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、EELS、自然酸化膜、極微小部分析
TEM059	スロースキャンCCD-TVシステムによるオートチューニング
TEM059	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100 キーワード：スロースキャンCCD、オンラインシステム、オートチューニング、オートスティグマ、オートフォーカス
TEM058	H-7100透過電子顕微鏡による植物細菌およびウイルスの観察
TEM058	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：ネガティブ染色法、植物細菌、植物ウイルス、透過電子顕微鏡
TEM057	パラフィン結晶の低温高分解能観察
TEM057	使用装置：透過電子顕微鏡 H-8100
TEM056	スロースキャンCCD-TVシステムの応用　その1:性能の確認と材料への応用
TEM056	使用装置：透過電子顕微鏡 H-9000NAR キーワード：Slow scan CCD、線分解能、画素、感度、スルーフォーカス、オンライン、フーリエ変換、フィルタリング
TEM055	ステップスポットスキャンTEM（SSSTEM）法とその応用
TEM055	使用装置：透過電子顕微鏡 H-7100 キーワード：透過形電子顕微鏡、ステップスポットスキャンTEM法（SSSTEM法）、試料傾斜、自動焦点補正機能（ダイナミックフォーカス）、ロードース照射法
TEM054	HF-2000形によるEDX分析の空間分解能
TEM054	使用装置：電界放出形透過電子顕微鏡 HF-2000 キーワード：電界放出電子顕微鏡、析出物、極微小部分析、EDX

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