リチウムイオン電池に用いられる炭素材料や高分子材料の研究開発に不可欠な、 超高分解能走査型電子顕微鏡です。高輝度コールドFE電子銃と検出信号制御機能により、高コントラスト像を高い分解能で提供します。
光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
SU8600にて、セパレータの自動連続撮像と自動孔径計測した例を以下の補足資料ボタンよりご覧いただけます。
SEMとAFMによるコリレーション分析にも対応。コリレーション分析の詳細は「SÆMic.」をご覧ください。