リチウムイオン電池の正極材や負極材などの評価に必要な試料作成のための、あらゆる機能を搭載。断面ミリングと平面ミリングに対応したハイブリッドイオンミリング機能を装備した日立ハイテクのイオンミリング最上位機種です。イオンビームによる変質のおそれのあるリチウムイオン電池材料の試料作成のため、冷却温度調整機能(オプション)を装備しています。雰囲気遮断断面ミリングホルダーは、大気中の酸素や水分と反応して形状が大きく変化してしまうリチウムイオン電池材料のために開発。試料を大気と接触させることなく、イオンミリング加工後にSEM観察が可能です。
ArBlade®5000にて、リチウムイオン電池負極材の断面ミリング加工観察をした事例を以下の補足資料ボタンよりご覧いただけます。
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ArBlade®5000
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