広域フラットスキャナを搭載し、メカニカル起因の測定誤差を低減した走査型プローブ顕微鏡システムAFM5500MⅡ。カンチレバーの自動交換などの自動化機能により品質管理などでのトータルスループットの向上に貢献します。
AFM5500MⅡ単独での形状や物性の測定結果に加え、SEMやCSIといった他の顕微鏡との座標リンケージ機能により単独ではできない精度の高い故障解析や欠陥評価を実現します。
さらにAFMマーキング機能が追加されたことで、測定箇所の特定が難しいサンプルの同一箇所測定がより多くの機種で簡便に行えるようになりました。
SEMとAFMによるコリレーション分析にも対応。コリレーション分析の詳細は「SÆMic.」をご覧ください。