世界トップレベルの高輝度冷陰極電界放出形電子銃と新開発の電磁界重畳形複合対物レンズを搭載した、高性能FIB-SEM複合装置です。試料の加工を行うFIB鏡筒と、高倍率で観察を行うSEM鏡筒を同一試料室に配置し、試料表面や試料内部の特定箇所の微細構造や組成を高倍率で解析することができます。
SEMとAFMによるコリレーション分析にも対応。コリレーション分析の詳細は「SÆMic.」をご覧ください。