SEMとFIBを直行させることで3次元構造解析に最適化されたシステムです。高精度加工/観察を繰り返すことで、試料の微細構造を3次元に捉えることができます。電極などの各粒子の分布などを立体的に解析することが可能です。
FIBマイクロサンプリングと薄膜試料搭載用雰囲気遮断ホルダーに関する情報を以下の補足資料ボタンよりご覧いただけます。