FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル(2タイプ2グレード)をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。
SEMとAFMによるコリレーション分析にも対応。コリレーション分析の詳細は「SÆMic.」をご覧ください。
顕微鏡
品質管理
高分解能ショットキー走査電子顕微鏡
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus
広域から微小領域の観察分析。材料や製品の品質管理に幅広く活躍
大型試料観察にも対応した高分解能FE-SEM
大型試料観察にも対応した高分解能FE-SEM