日立ナノ3D光干渉計測システム

日立3D光干渉アルゴリズムは複雑な複合測定原理切り替えからの解放を可能にしました。

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日立の3D光干渉アルゴリズムレーザ顕微鏡・移動焦点方式の弱点を克服従来型の白色干渉計の弱点を克服分光膜厚計・エリプソメータの弱点を克服日立 3Dソリューション

日立の3D光干渉アルゴリズム

「サブ nm ～ mm 超」の測定を1台で！

従来は、試料特性に合わせた測定手法・装置の選択が必要でしたが、日立の3D光干渉アルゴリズムでは、一台で幅広い様々な試料の観察が可能です。

搭載機種 : ナノ3D光干渉計測システム VS1800

広範囲ワンショット6.4 ㎜角直分解能　0.01 nm ～
差測定再現性　< 0.1　% 3σ : 1.8 nm（標準段差サンプル 0.9532 μm測定時）
低反射率（黒色・透明）から高反射率（鏡面）まで
測定最大傾斜角度 86°
層断面解析機能 3D計測だけでない Plus αの機能

VS1800　ショートムービー

ナノ3D光干渉計測システムVS1800 ショートムービーです。

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レーザ顕微鏡・移動焦点方式の弱点を克服

「広範囲で高分解能」の測定を1台で！

レーザ顕微鏡（LSM）よりも広範囲かつ高分解能な測定を実現。
測定方式を変えずに局所面粗さから、広範囲うねり測定までを1台でカバーします。

下図はレーザ顕微鏡（LSM）とナノ3D光干渉計測システムの観察範囲と垂直分解能の関係性を記したものです。
ナノ3D光干渉計測システムは、レーザ顕微鏡（LSM）では困難な「狭い観察範囲」から「広い観察範囲」までの高分解能測定が1台で行えることがわかります。

「高い再現性」の測定を1台で！

白色干渉方式はレーザ顕微鏡（LSM）や移動焦点方式（フォーカスバリエーション）とは異なり、レンズ倍率に起因する垂直分解能のバラつき影響がなく、どの倍率を使用しても再現性の良いデータが取得できます。

下図は、レーザ顕微鏡（LSM）とナノ3D 光干渉計測システムにおいて、使用する対物レンズの倍率毎にVLSI標準段差試料（高さ953.2 nm）を10連続測定した際に生じる測定数値のバラつきを記録したものです。レーザ顕微鏡（LSM）では使用した対物レンズ倍率の違いだけでなく、同じ倍率における連続測定においても測定数値にバラつきが生じているのに対して、ナノ3D光干渉計測システムではデータが安定し、高い再現性を有していることがわかります。

「幅広い対象試料」の測定を1台で！

新しいアルゴリズムを搭載したナノ3D光干渉計測システム VS1800は、レーザ顕微鏡（LSM）や移動焦点方式（フォーカスバリエーション）と異なり、柔らかい試料から硬い試料まで、透明試料から高反射の試料までの幅広い試料の測定を一つの方式でカバーします。

柔らかいから硬い、低反射から高反射の試料まで幅広い試料をカバーする日立ハイテクのVS1800

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従来型の白色干渉計の弱点を克服

「高傾斜試料の測定」にも対応

従来、白光干渉計における弱点とされてきた試料の測定傾き限界。
VS1800の高傾斜測定モードは、日立独自の新しいアルゴリズムを採用することで急峻な角度までの測定に対応します。

下図は同じ光学系を使用した白色干渉計（CSI）にて、計測アルゴリズムだけを変更してSUSの球体を測定したものです。
従来のアルゴリズムでは球体の頂点付近しか測定が行えていないのに対して、新しいアルゴリズムを搭載したナノ3D光干渉計測システム VS1800は最大傾斜角度86度までのデータ取得を実現していることがわかります。