電子顕微鏡用サンプルクリーナー ZONETEM

UVオゾン洗浄により電子顕微鏡観察時のコンタミネーションを低減するクリーナーです。

価格：お問い合わせください

取扱会社：株式会社日立ハイテク

特長

コンタミネーション低減により本来の試料表面を観察

電子顕微鏡用の試料作成・保管中に、試料表面にハイドロカーボンが付着し、電子ビーム照射時にコンタミネーションが形成され、高分解能観察や分析の妨げになります。
ZONEサンプルクリーナーは、UV光を照射して試料表面に付着したハイドロカーボンを除去し、電子顕微鏡観察時に試料表面に形成されるコンタミネーションを低減できます。

高スループットでフレキシブルなセットアップが可能

同時に複数サンプルを処理可能
ユーザーフレンドリーな簡単画面による操作
簡便なサンプル装着 / 取り出しが可能
標準クリーニング時間は5分～15分

仕様

項目	内容
UVランプ	波長：185 nm、254 nm 他（可視光 - 青、赤外光）
対応試料ホルダ	日立インレンズSEM用日立TEM/STEM用日立FIB用各サイドエントリ試料ホルダに対応^*
処理モード	Vacuum Clean ：UVクリーニングモード Vacuum Storage ：真空保持モード（試料保管モード）
本体寸法	約390 mm（W) × 390 mm（D） × 340 mm（H）
重量	約17 kg

* ：最大3本のサイドエントリ試料ホルダを同時に装着できます。ホルダの形状によっては同時装着できるのは2本となります

応用例

ナノ炭素材料のハイドロカーボンの除去

炭素格子像の観察は電子線によりコンタミネーションが付着し困難ですが、ZONEクリーニング後には炭素格子像を明確に観察することができます。
ZONEクリーナーは試料室の真空度を変えることでクリーニング強度をコントロールできます。クリーニング強度を最適化することで、カーボンナノチューブのような軽元素を主体とする材料に対しても本来の微細構造に影響を与えることなく、クリーニング効果を確認できます。

[試料]カーボンナノチューブ
[クリーニング時間]片面3分×2