多機能プローブ顕微鏡システム
多機能プローブ顕微鏡システム AFM100 Plus/AFM100
「従来のAFM操作の煩雑さ」からの解放
AFM100 Plus /AFM100システムは、 研究開発現場、生産現場、教育現場など様々な 場面でのAFM装置の普及を目的に、 操作性と信頼性、スループットの向上を 追求し開発された小型高分解能ユニットです。
特長
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プリマウント方式のカンチレバーを採用（選択制）
掴みやすい構造設計で装着ミスとストレス軽減による操作性向上 -
探針評価機能
探針径の管理を実現により、データの信頼性向上 -
オートパイロット自動測定機能
ワンクリック測定でスループットを向上 -
低ドリフト設計
ドリフト量 0.03 nm/sec以下を実現することで、データ信頼性向上 -
AFMマーキング機能
SÆMic.（SEM-AFM相関解析）による多角的な解析能力に貢献 -
セルフチェック機能
日常使いの保守性の向上
スループットの向上
プリマウント方式による確実なワンタッチ交換（操作性と信頼性向上）（選択オプション）
オートパイロット自動測定機能によるワンクリック測定解析（スループット向上）
AFMマーキング機能
AFMマーキング機能によるAFMと同一視野のSEM－EDS評価（追加オプション）
小型汎用AFMによるSEMとの同一箇所評価のための支援ツール
- ナビゲーションソフトによる自動AFMマーキング機能
日立3Dソリューション
関連情報
