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日立ハイテク
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測定部(ユニット)

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のユニット(測定部)のラインアップをご紹介します。

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多機能プローブ顕微鏡システム AFM100シリーズ

AFM100シリーズは、研究開発現場、生産現場、教育現場向けに「スループットの向上を追求」したAFM100 Plus/AFM100と、「検出感度の向上を追求」したAFM100 Proからなる小型高分解能ユニットの3機種です。

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汎用小型ユニット AFM5100N

センサー内蔵型レバーによりレーザー調整を不要にし、手軽に観察準備から測定までを実現する小型AFMです。卓上での設置を実現し、いつでもどこでも設置可能な省スペース設計を実現しています。

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環境制御型ユニット AFM5300E

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型AFMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。

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中型プローブ顕微鏡システム AFM5500M

XY200 μmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型AFMです。

関連情報

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
リストの一部はこちらからご覧いただけます。

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。