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日立ハイテク
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汎用小型ユニット AFM5100N

汎用小型ユニット AFM5100N

省スペースで手軽に測定

レーザー光軸調整や測定ポイントの位置合わせなど、様々な簡単操作機能を搭載した汎用小型ユニットAFM5100Nなら、直観的に使えるナビゲートシステムを使用して観察準備から測定までを手軽に行えます。

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価格 ¥4,200,000~
(プローブステーションは別売りです。)

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

ピンポイントアプローチタイプのカンチレバーによる正確な位置決め

カンチレバーが、探針先端の位置を直上から確認できる構造になっており、測定箇所の位置合わせが簡単です。さらに、探針の先鋭化により高分解能化も達成しています。

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手軽に調整可能な新型光ヘッド

レーザー位置調整のための調整機構を5軸から4軸に減らし、CCD像とポジションモニタを見ながら調整するため初めての方でも容易に調整することができます。

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ナビゲートシステムによる簡単操作

フローチャート形式ナビゲートシステムにより、どなたでもスムーズに高分解能な表面観察を行うことができます。また、試料の硬さや凹凸の大きさといった質問に感覚的に答えることで、測定パラメータを簡単に設定することができます。

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省スペース設計の実現

装置本体に、除振機構、防風カバー、試料とカンチレバーを観察できる直上USBカメラがついて、非常にコンパクトにまとまっています。

簡便な機能変更対応

専用ソフト、カンチレバーホルダの交換により簡便に機能を変更することができます。

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仕様

検出系 光てこ方式
検出系の光源 半導体レーザー
分解能 原子分解能
試料サイズ 最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm*
スキャナ(走査範囲) オープンループ
  • XY:20 µm/Z:1.5 µm
  • XY:100 µm/Z:15 µm
  • XY:150 µm/Z:5 µm
クローズドループ
  • XY:110 µm/Z:6 µm
光学顕微鏡
  • 自己検知/光ヘッド兼用顕微鏡
  • ズーム機能付顕微鏡
  • 金属顕微鏡
基本機能 光てこ:AFM、DFM、PM、FFM
機能拡張性* SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
除振機構
  • 卓上除振台
  • エア供給式パッシブ除振台
(選択)
試料移動機構 マニュアルステージ XY:±2.5 mm
インパクトステージセット*
対応環境 大気、液中*、湿度*、加熱*(室温~250℃)

* オプション品

アプリケーション

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

製品ユーザー向け情報

当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。

走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

初めてお使いになるお客様へ

関連情報

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。

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