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コンダクターエッチング装置

コンダクターエッチング装置の製品ラインアップを紹介いたします。

コンダクターエッチング装置 9000シリーズ

コンダクターエッチング装置 9000シリーズ

次世代デバイスプロセスに対応するため、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した各種チャンバを搭載可能とすることで、最先端デバイスに対応した拡張性と柔軟性のあるプロセスを提供いたします。

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コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ

マイクロ波ECR方式の高密度プラズマに加え、低温エッチング技術、TM(Time Modulation)バイアス技術の適用により、堆積性の低いクリーンなプロセスの採用が可能となり、滑らかな側壁形状を実現し、高い量産性を提供します。

コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズ

コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズ

M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。