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集束イオンビーム（FIB/FIB-SEM）活用例
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目次
- 1.マイクロサンプリング®法を用いた薄膜試料作製手順のご紹介
- 2.トリプルビーム®装置を用いたGaN/InGaNの高品質TEM試料作製
- 3.大気遮断環境下での全固体電池のFIB薄膜加工からTEM観察
- 4.5nm FinFETの断面TEM観察用試料作製
- 5.STEM像観察機能を用いた先端半導体の薄膜試料作製