超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。
CSPのアンダーフィル層
IGBTの接着界面
張り合わせウェーハ
高分解能型プローブ
透過法プローブ
FS100 III | FS200 III | FS300 III | |
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対応プローブ周波数(MHz)*1 | 5~75 | 5~140 | 5~300 |
有効走査範囲(mm) | 350×350*2 | ||
プローブ高さストローク(mm) | 80 | ||
最小走査ピッチ(mm) | 0.5 | ||
最大走査速度(mm/s) | 1,000 | ||
外形寸法(mm) | 1,590×1,340×940 | ||
質量(kg) | 約380 | ||
電源仕様*3 | AC100V/15A 50/60Hz |
高精細測定であるシングルスキャン方式のFineSATに電子スキャン方式のES5100を一体化し、アレイプローブを併用することで、高速検査機能を追加したハイブリッドの装置です。
超音波映像装置 FineSAT Hybrid
シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の
同時装着例
FS100IIIHy | FS200IIIHy | FS300IIIHy | ||
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シングルプローブ周波数範囲(MHz) | 5~75 | 5~140 | 5~300 | |
アレイプローブ 周波数(MHz) | 25 , 50 , 75 | |||
アレイプローブ素子数 | 25,50MHz : 128 75MHz : 192 | |||
アレイプローブ最大同時駆動励振数 | 16 | |||
マルチゲート数 | シングルプローブ : 64 アレイプローブ : 2 | |||
有効ストローク(X×Y×Z)(mm) | シングル/アレイプローブ単独装着時 | 350×350×80 | ||
シングル・アレイプローブ併用装着時 | 295×350×80 | |||
外形寸法 (W×H×D)(mm) | 2,000×1,340×940 | |||
質量(kg) | 約450 | |||
電源仕様 | AC100V/15A/ 50/60Hz |