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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

写真:PRO Line PVD75、PRO Line PVD200、PRO Line PVD500

概要

  • Kurt J. Lesker(KJLC)は研究開発に特化した真空成膜のエキスパート
  • W/Wな納入実績(著名な研究所, 大学, 企業, 等)
  • Pro Line PVD導入台数: 500台弱
  • 様々なアプリケーションでの対応実績あり
  • 豊富な実績をベースとした専門提案が可能 → 対応実績はOP化され、次世代機へ展開

特長

Pro Line PVD’s System Platform

  • 装置を標準モジュール化(装置標準化, 内製化) → 高コストパフォーマンスを実現
  • モジュール設計採用 → プロセスに応じた対応が可能
  • 扉は左右どちらにも取り付け可 → 最適な装置構成を構築可
  • 上下部のフランジを完全にモジュール化 → 成膜基板及び蒸着源の取り付けが容易

写真:Pro Line PVD’s System Platform

Pro Line PVD's Sources

  • 様々な物理蒸着方法が可能(スパッター, 熱蒸着, E-beam)
  • 設置サイトで成膜源/ユニットの変更/追加が容易

写真:Pro Line PVD's Sources

スパッター設置個数 Max 6 Max 8
サイズ 3" 2", 3" or 4"
熱蒸着設置個数 Max 4 Max 6
E-beam設置個数 KL8* KL6 or 8**

Note: その他の組合せも可

*
KL6: 4ポケット(8cc)
**
KL8: 8ポケット(12cc) or 6ポケット(20cc)

Pro Line PVD's Special Configuration

構成図:Pro Line PVD's Special Configuration

KJLC

画像:KJLC