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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

ドライ真空ポンプ EV-S20 EV-S50 EV-S100 EV-S200

特長

  • 省エネルギー、省スペース、軽量化を実現
  • 電源周波数(50Hz/60Hz)にかわりなく同一性能
  • 充実したセンシング機能でダウンタイムを低減

概略仕様

型式EV-S20EV-S50EV-S100EV-S200
排気速度(L/min) 1,670 5,000 10,000 20,000
消費電力(kW) 0.4 0.55 0.65 0.75
質量(kg) 60 100 120 170

ラインアップ

ドライ真空ポンプ PDV250 PDV500

ドライ真空ポンプ EV-A10

ドライ真空ポンプ 置き換えシュミレーションサービス

その他のラインアップ


EV-M型
生成物が生じる用途向け


ESA型
水素の大量排気向け


ESR型
省エネ、省スペース向け