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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

量産、大量生産向けの枚葉式処理装置です。各ユニットをセパレート化することにより、装置停止することなくメンテナンスが可能です。

特長

  • 各種ユニットを一体にまとめることにより最小限のフットプリントを実現
  • 枚葉式処理により高精度なウェットプロセス処理が可能
  • 薬液処理から乾燥までの一貫処理が可能
  • ご要求に合わせたフルカスタム対応が可能
  • Siウェーハ・ガラス・GaAsを始めとした化合物ウェーハなど、各種ワークに対応
  • 小径～大径ウェーハ・小型～大型角基板処理まで対応可能
  • ご要求に沿った処理構成・レイアウトを構築可能
  • 無機酸・無機アルカリ・有機酸・有機アルカリ・機能水など複数薬液に対応が可能
  • 薬液リサイクルによる省コスト対応が可能(処理ワークによる)
  • ブラシ洗浄・メガソニック超音波洗浄・FOUP&SMIF対応・水中ローダ&アンローダ
  • 内蔵薬液調合供給ユニットなど、豊富なオプション機能を搭載可能

研磨後洗浄装置

SiC洗浄装置

UV処理兼用処理

構成例

各種スピンプロセッサーの構成例

装置名称スピン処理部機能ユニットオプション
有機剥離
LSIマスク
CMP後洗浄  
LED
SiCウェーハ洗浄
  • ブラシスクラブ
  • 界面活性剤
  • 酸処理
  • アルカリ処理
スピンエッチャー
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貴社ではどのようなプロセス処理をお望みですか？

スピン処理部のご紹介

メガソニック洗浄ユニット

2流体ジェット洗浄ユニット

スクラブユニット

薬液処理ユニット

有機溶剤処理カップユニット

N2イオンブローユニット

機能ユニットのご紹介

両面スクラブユニット

端面スクラブユニット

ベークユニット

UV処理ユニット

ウェーハ反転機構

水中ローダ

ワーク着座センサー

オプションのご紹介

DIW/CO2メンブレン比抵抗管理システム

ワークに対する帯電を防止します。

薬液調合供給システム

薬液秤量による濃度管理
温度調整(温調循環、インラインヒーター、投げ込みヒーターなど)

トレーサビリティ管理システム

LotID・処理レシピ・処理時間・処理温度・薬液濃度・温度履歴・純水／電力使用量などの処理管理データを収集。収集データはPC接続・フラッシュメモリーにより管理可能。

薬液リサイクル機構

フィルターリングシステムによる薬液リサイクル