量産、大量生産向けの枚葉式処理装置です。各ユニットをセパレート化することにより、装置停止することなくメンテナンスが可能です。
研磨後洗浄装置
SiC洗浄装置
UV処理兼用処理
装置名称 | スピン処理部 | 機能ユニット | オプション |
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有機剥離 | |||
LSIマスク | |||
CMP後洗浄 | |||
LED |
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SiCウェーハ洗浄 |
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スピンエッチャー |
メガソニック洗浄ユニット
2流体ジェット洗浄ユニット
スクラブユニット
薬液処理ユニット
有機溶剤処理カップユニット
N2イオンブローユニット
両面スクラブユニット
端面スクラブユニット
ベークユニット
UV処理ユニット
ウェーハ反転機構
水中ローダ
ワーク着座センサー
ワークに対する帯電を防止します。
薬液秤量による濃度管理
温度調整(温調循環、インラインヒーター、投げ込みヒーターなど)
LotID・処理レシピ・処理時間・処理温度・薬液濃度・温度履歴・純水/電力使用量などの処理管理データを収集。収集データはPC接続・フラッシュメモリーにより管理可能。
フィルターリングシステムによる薬液リサイクル