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Hitachi

株式会社 日立ハイテク

プラズマポーリング装置

PZT・PVDF Film 向けプラズマポーリング
(分極処理)装置

特徴

  • 高均一性と高い極性効果(最大90%)
  • 極性電極のパフォーマンスモニタリング機能を
    備えた高密度なプラズマ源
  • X-Y-Z軸コントロールが可能な極性電極モジュール
  • 位置アライメントが可能な自動搬送システム
  • 加熱機能も対応可能
  • 極性の回転も可能(オプション)
  • 抵抗測定機能対応可能

プラズマポーリング装置

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