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Hitachi

株式会社 日立ハイテク

電子源

Applied Physics Technologies, Inc.では、主に 分析・検査向け装置や金属3Dプリンター向けに使用される電子源を製造しています。

主な製品

CeBix®

材料 六ホウ化セリウム(CeB6
六ホウ化セリウム(CeB6)
特長 長寿命、高輝度、耐汚染性(LaB6比較)
用途 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、電子線マイクロアナライザ(EPMA)表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等

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LaB6

材料 六ホウ化ランタン(LaB6
特長 長寿命、高輝度、(タングステンフィラメント比較)
用途 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、電子線マイクロアナライザ(EPMA)表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等

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REFRACTORY METAL SINGLE CRYSTALS(高融点金属単結晶)

材料 W、Ta、Mo、Re、Ir、Ta、Hc、Pt、Ni 等
特長 自社装置を使用したゾーンリファイニング製法により
高純度で高品質な単結晶を製造
用途 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、半導体分析装置、X線管、EPMA、電子線描画装置 等

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TRANSITION METAL CARBIDE CATHODES(遷移金属炭化物電子源)

材料 HfC、ZrC、TiC、NbC 等
特長 高融点、高硬度、高い耐久性、低い蒸発率(長寿命)
低真空環境下でも高性能を発揮
用途 既存熱電子源の高性能化、研究用材料、様々な電子源アプリケーション 等

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電子源の種類

電子源の種類
比較項目 熱電子源(W) 熱電子源(LaB6/CeBix®) ショットキー(SE)電子源 電界放出(FE)電子源
電子線放出方法 Wヘアピンフィラメントを加熱 細径単結晶を加熱 針状金属の加熱と高電圧印加(ショットキー効果を利用) 針状金属に高電圧印加(トンネル効果を利用)
輝度 ◎+
単色性
分解能 ◎+
電流量
安定性
寿命
コスト
取扱性