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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

VS1000シリーズはサンプルによる違いの定量化をサポートします。


走査型白色干渉顕微鏡VS1000シリーズ測定例


走査型白色干渉顕微鏡による測定は、三次元表面性状の国際標準規格 ISO 25178に規定されています。
VS1000シリーズでは、ISO 25178に準拠しており、比較ツールを用いることでパラメータ選択を簡単サポートいたします。

多数ある3D表面性状パラメータ ISO 25178 適切なパラメータ選択をサポートする機能

線粗さ評価だけでは違いが分かりづらい試料において、面全体の評価を行うことで試料間の違いの定量的な評価を可能にします。

ISO 25178 パラメータ VS1000シリーズによる測定事例

Sdr 界面の展開面積比(複合パラメータ)

光沢紙表面比較

光沢紙A


Sa 49.1 nm
Sdr 0.0010 %

光沢紙B


Sa 49.3 nm
Sdr 0.0028 %

  • 面粗さSaに違いは見られないが明らかに形状が違うサンプル
  • Sdrは形状の違いを表面積の増大比として数値化
  • 粘着性などの指標に適したパラメータ

Str 表面性状のアスペクト比(空間パラメータ)

金属加工面比較

スジ目あり


Str 0.100

スジ目なし


Str 0.959

  • Strは表面形状の異方性を数値化するパラメータ
  • Saなど算術的平均値では現れない、凹凸の大きさや規則性を評価
  • 外観で見られる加工跡の評価および外観・美観の定量化が可能

Spk 突出山部平均高さ(機能パラメータ)

ピストンヘッドの摩耗部・正常部の比較

正常部


Spk 2.50 μm

磨耗部


Spk 0.143 μm

  • 高さヒストグラムから得られる負荷曲線の突出山部の平均高さ
  • トライボロジにおける接触部の摩耗量を示すパラメータ

Vvv 谷部の空隙容積(体積パラメータ)

潤滑油劣化による摩耗度の変化

新油使用時


Vvv 0.034 ml/m2

劣化油使用時


Vvv 0.128 ml/m2

新油使用時の摺動痕は滑らかで深さも浅いのに比べ、劣化油使用時の摺動痕は、
より深くなり摺動方向がはっきりわかるようなスジ状に削れていることがわかります。

  • 負荷曲線の突出谷部の空隙容積
  • 磨耗量を体積として数値化
  • 磨耗度合いの評価に用いられるパラメータ