第33回 材料解析テクノフォーラム（大阪）

FIB-SEMを用いたゴム-黄銅接着層の3次元構造解析

タイヤには黄銅めっきされたスチールコードが埋め込まれており、ゴムと強固に接着している。その接着層は取出して観察することが難しかった。
そこで、日立ハイテクノロジーズ製の直行型FIB-SEM NX9000を用いたところ、接着層の3次元構造解析が可能となった。ここでは、接着劣化による構造変化等を紹介する。

横浜ゴム株式会社
タイヤ材料開発本部
鹿久保 隆志

NHKスペシャル人体 電子顕微鏡3D映像化への挑戦

これまで電子顕微鏡像は画像でしか紹介されてこなかった。
番組では、ホトグラメトリック法を活用し、体内の様子を三次元映像にすることに挑戦した。
半年間に渡る映像化技術開発の舞台裏を紹介する。

日本放送協会 放送技術局
制作技術センター 番組制作技術部
CGスーパーバイザー
高畠 和哉

AFM&CSIによるナノ3D計測ソリューション

近年、製品の高性能化、微細化に伴い、ナノオーダーの形状管理の必要性が高まってきている。
日立ハイテクが培ってきた走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）、三次元光干渉計測システム（CSI）の計測ノウハウに基づき、お客様の計測ニーズに最適な手法をご提案します。またCSI新製品情報についてご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
伊與木 誠人

• 走査型プローブ顕微鏡（SPM）
• 走査型白色干渉顕微鏡（CSI）

昼食
* 昼食は当社が準備いたします。

FIB-SEM複合装置のラインナップと最新アプリケーションのご紹介

日立FIB-SEM複合装置NX2000/NX9000は高品質・高精度試料作製や三次元構造解析に有効な装置としてお使いいただいております。
それぞれの装置の特徴と、アプリケーション事例として自動マイクロサンプリングおよびアトムプローブ試料作製についてご紹介します。
さらに、新しくラインナップに加わったEthos NX5000をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
黒田 靖

• 集束イオンビーム（FIB/FIB-SEM）

FE-SEMによる最新の材料解析事例

SEMによる材料解析は、表面微細構造、組成の観察や元素分析などの測定のみならず、in-situ測定や、複数機能を合わせた分析および相関観察が求められています。
本セミナーでは、弊社FE-SEMとEDS検出器による最新の材料解析事例として、in-situ加熱EDS分析、Hitachimap3DとEDSマッピングの合成、高空間分解能EDS分析をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
重藤 訓志

• 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）

マルチユーザに対応した高分解能収差補正200kV STEM-TEM HF5000のご紹介

近年、原子サイズ領域における構造観察や元素分析のご要望が高まっており、日立ハイテクでは、高分解能観察・高感度分析と高試料傾斜ができることを特長とし、冷陰極電界放出形電子銃と自動収差補正機能を有するSTEM用Csコレクタを搭載した加速電圧200kV分析電子顕微鏡HF5000を製品化いたしました。
本報告ではHF5000形の性能、機能とアプリケーションについてご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
マーケティング部
稲田 博実

コーヒーブレイク

【新技術紹介】FIB-Ar/Xeビームを用いた走査型拡がり抵抗顕微鏡（SSRM)によるドーパントプロファイル評価

二次元ドーパントプロファイル評価手法の１つである走査型拡がり抵抗顕微鏡（SSRM)の前処理技術では、研磨による最表面出しが主流となっています。
しかしながら研磨による前処理では、加工時間の長さや不良箇所のピックアップが困難なケースがあります。
日立FIB複合装置のAr/Xeビームを用いたSSRM用サンプルの前処理加工への取り組みについてご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
マーケティング部
田村 慶太

「Ruli-TEM HT7800シリーズ」の材料解析への応用

Ruli-TEMHT7800シリーズに新たなラインナップとして追加されたHT7820を中心に装置の特徴と各種材料の解析事例についてご紹介します。
また、これらの装置を用いた最新アプリケーション事例として、イオン液体やK-kitなど液中観察についてもご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
和久井 亜希子

• 透過電子顕微鏡 HT7800シリーズ

AFMによるナノ構造分析技術＆SAEMic.（SEM＋AFM相関顕微鏡手法）ソリューション

材料の研究・開発において局所の機械的・電気的物性評価ニーズは益々高まっています。
材料解析に有効なAFMによる弾性率、電流・電気抵抗・電位などのナノ構造分析手法についてご紹介します。
また、同一箇所でのSEMによる組織、組成、元素分布観察等とAFMによる3D形状計測、電磁気物性についての応用事例をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
マーケティング部
水口 勝利

• 走査型プローブ顕微鏡（SPM）

無機固体電解質を用いた全固体二次電池の開発と展望

無機固体電解質を用いた全固体二次電池は、安全性、信頼性に優れた究極の次世代蓄電池として、近年その研究開発が活発化している。
ここでは、酸化物および硫化物系電解質を用いた全固体二次電池の特性評価や構造解析を中心とする研究開発動向を概説するとともに、実用化に向けての展望について述べる。

大阪府立大学大学院工学研究科
物質・化学系専攻応用化学分野
教授 辰巳砂 昌弘