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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

プローブステーション AFM5000

従来のSPMはさまざまな測定パラメータの設定が難しく、信頼できる測定には熟練したオペレーターが必要といった課題があり、誰でも簡単に操作ができるSPMが求められていました。
測定パラメータの自動調整機能を標準搭載RealTune®。各種パラメータを試料に合わせて最適に自動設定することが出来ます。また、ワン・クリック自動測定も可能になりました。

JIS R 1683 SIS Q CL

価格 ¥6,500,000~
(ディスプレイと設置台は別売りです)

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    特長

    1. 人依存の少ない信頼できる測定を簡単に実現できる新機能

    測定が簡単に行えるSPMとして、測定結果の個人差を防ぐことにより応用範囲を大きく拡大します。

    「測定パラメータ自動調整機能RealTune®」による各種測定パラメータの自動調整

    これまで熟練を要した、制御ゲイン・走査周波数・測定時の力などの条件設定を、実試料とプローブの間の状態を把握しながら、総合的に自動調整します。

    ワンクリックによる自動測定

    ワンクリック操作で、アプローチから測定までを簡単に実行できます。
    また、Qカーブ測定を高速化しました。Q値の大きな場合(真空中測定時、Q値制御時)にも対応します。

    自動調整による測定の安定化

    「測定パラメータ自動調整機能RealTune®」により測定条件が自動調整されるので、人に依存しない測定結果が得られます。専任のオペレータを育成しなくとも、一定水準の測定を実現します。

    従来の測定フローと自動測定フローの

    2. ユーザーフレンドリーを目指して

    イージーメニュー

    ユーザーにとって安定運用のネックとなっていた、SPMの操作性。AFM5000ステーションは、人間工学に基づいた、感覚的に操作可能な測定ナビゲーション機能(イージーメニュー)を搭載。SPMをより身近なものにしました。

    イージーメニュー画面

    3. 決め細やかなサポート機能

    アクティブQ

    Q値コントロール機能(アクティブQ)によるベストな感度調整は、真空中・液中などの環境下においても、高感度かつ高分解能な測定を実現します。真空中のハードディスクMFM像(左:アクティブQ無し)(右:アクティブQ有り)

    真空中のハードディスクMFM像

    オートゲイン機能

    試料表面の凹凸が激しいものから原子オーダーまで常に21bit分解能で取り込み、A/Dコンバータの能力をフルに発揮します。

    オートゲイン機能

    高速長方形スキャン

    測定用途に合わせてスキャン幅比率の変更を可能にし、測定時間を最大90%短縮。大幅なスループット向上を実現します。

    高速長方形スキャン

    4. データの信頼性向上を目指して

    探針評価機能

    測定前後の探針の状態を評価する機能を搭載。探針の磨耗や破損の有無を確認でき、SPMにおけるデータの信頼性向上に役立ちます。(上:新しい探針)(下:磨耗した探針)

    上:新しい探針/下:磨耗した探針

    粗さJIS規格対応

    業界で初めて、表面粗さJIS規格(JIS R 1683:2007)に対応。データのばらつきが低減され、より高精度で客観的な粗さ測定が期待できます。

    クローズドループ制御(オプション機能)

    圧電素子が持つヒステリシスやクリープなどの非線形性による影響を排除し、高い直線性と直行性を実現。微細領域の計測・加工において、その精度を飛躍的に向上させます。

    測定領域:80µm、測定領域:15µm、測定領域:2µm

    5. 充実した解析のために

    豊富なグラフィックス

    用途に合わせて選択できる豊富なグラフィックスを用意。測定データのイメージを明確に伝えます(図は髪の毛のキューティクルの3Dグラフィック)。

    髪の毛のキューティクルの3Dグラフィック

    各種形状解析機能

    解析に必要な各種パラメータを用意しました。 具体的な数値がデータに更なる説得力を与えます。

    各種形状解析機能

    仕様

    仕様
    OS Windows 7
    接続機種 AFM5100N、AFM5200S、AFM5300E、AFM5400L
    X, Y, Z走査電圧 XY:±200V/18bit
    Z:±200V/21bit
    同時測定(データポイント) 4画面(最大8192×1024)
    長方形スキャン 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1024:1
    測定パラメータ自動調整機能 RealTune
    接触力、走査速度、フィードバックゲインの自動調整
    ソフトウェア 測定ナビゲーション機能、三次元表示機能、断面解析、データ解析バッチ処理機能、探針評価機能
    本体サイズ 300mm(W) × 550mm(D) × 629mm(H)、約40kg
    電源 AC100V±10V 15A

     

    アプリケーションデータ

    走査型プローブ顕微鏡のアプリケーションデータを、会員制情報サービスにて紹介します。ID登録されていない方は新規登録が必要です。

    原理解説

    走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)など原理と各種モード原理の解説をします。

    スペシャルコンテンツ

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