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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

あらゆるステージで活躍する日立のAFM

分野別

高精度でありながら手軽に測定可能

高品質なものづくりは、高精度な計測の上に成り立ちます。
各工程においてオペレーターの能力や経験に依存することなく、均一な計測を行うことで初めて、品質を担保することが可能です。また、市場変化の激しい今日において、迅速に計測を行うことで、計測が生産工程のボトルネックになることなく、生産性を向上できます。試料の大型化や多様化が進む中、AFM5500Mは革新的な技術を用いた高精度な測定を実現し、数々の自動化機能により手軽に活用いただけます。

プローブ交換とパラメータ設定の自動化

適用製品:

簡単計測

測定する試料や目的に合わせて必要なプローブ交換は、カンチレバーを自動的に着脱することで行われるので日々の作業負担が軽減します。また、測定の度に行うパラメータ設定を自動化したことで、経験のないオペレーターでも簡単に測定できるようになりました。AFMの操作の難しさを解消し、生産性が向上します。

自動的にカンチレバーを交換することで、常に適切なプローブを利用可能

パラメータ設定を自動化することで、オペレーターの経験を問わず均一な条件で測定が可能

レーザー光軸調整の自動化

適用製品:

簡単計測

オペレーターに経験が求められる、カンチレバーにレーザー光軸を合わせる調整が不要になりました。センサー内蔵の自己検知方式のカンチレバーを搭載したことで、オペレーターによってばらつくことがなく、レーザー光軸の制御と調整が自動的に行われます。より簡単に測定が行え、生産性が向上します。

レーザー光軸の自動調整により誤差の少ない測定が可能

カーソル操作可能なインパクトステージ

簡単計測

インパクトステージを利用すれば、電動ステージがなくても、CCD画面上のカーソル操作により測定位置を簡単に調整できます。同一試料上で、複数個所の測定を行う場合の操作性を大きく向上し、迅速な測定が可能です。

簡単に試料上の測定位置を調整可能

急峻な下り斜面の高精度測定

インテリジェント測定―SISモード

急峻な斜面をDFMモードにより測定する場合、探針が常に試料と同じ距離を保ちながら走査するように制御することが難しく、試料から離れてしまう傾向にあります(パラシューティング)。SIS(サンプリング・インテリジェント・スキャン)モードでは、測定ポイントでのみ探針を接近させてデータを取得し、探針の移動は試料から離れた上方で行うため、急峻な下り斜面でも高精度な測定が可能です。

  • パラシューティング

  • 追従性が良い状態

急峻な下り斜面の観察例

試料にダメージを与えない測定

インテリジェント測定―SISモード

DFMモードでは、柔らかい試料や吸着が大きい試料を測定する際に試料表面を変形させ、ダメージを与える場合があります。SIS(サンプリング・インテリジェント・スキャン)モードなら、試料から垂直に離れた上方においてプローブの水平方向の移動が行うため、水平方向の力によりプローブを押し込むことなく、試料およびプローブにダメージを与えることなく、高精度な測定が可能です。

  • DFM観察の様子

  • DFM形状像

  • SIS観察の様子

  • SIS形状像

グリース表面のDFM、SIS位相モード観察例

大型試料の観察

適用製品:

高分解能測定に対応した高精度大型ステージユニットを搭載し、様々な大きさの試料に対応できます。最大8インチまでの試料搭載を実現し、多点同時連続測定を自動で行えるので、誰でも簡単にナノメータースケールでの測定が行える品質管理に適したシステムです。また、小型試料を複数搭載して、連続で自動測定することも可能です。

直径最大200 mmの試料を搭載可能な大型ステージ、150 mm角の全面観察が可能

高精度な形状計測

適用製品:

AFMの課題である、スキャナが垂直方向の伸縮動作を行う際に発生する曲り(クロストーク)による、左右の形状差や映像の歪みを解消しました。垂直方向にクロストークの影響を削減した新たなスキャナを開発することで、左右の歪みを誤差0.5度以下に抑えた測定が可能です。誤差の少ない、広域立体構造の形状計測を実現します。

観察試料:太陽電池テクスチャ構造(結晶方位により左右対称な立体構造)

アプリケーション

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

分野別

モード別

データギャラリー

製品ユーザー向け情報

当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。

カンチレバー一覧・操作ガイド

保守・サービス

生産終了製品のご案内

走査型プローブ顕微鏡スクール

走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

初めてお使いになるお客様へ

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