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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

ユニット(測定部)

走査型プローブ顕微鏡(SPM)のユニット(測定部)のラインアップをご紹介します。

製品一覧

汎用小型ユニット AFM5100N

センサー内蔵型レバーによりレーザー調整を不要にし、手軽に観察準備から測定までを実現する小型SPMです。卓上での設置を実現し、いつでもどこでも設置可能な省スペース設計を実現しています。

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多機能型ユニット AFM5200S

低コヒーレント光学系、熱源の抑制により、さらなる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現した小型SPMです。大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができます。

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環境制御型ユニット AFM5300E

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型SPMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。

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大型ユニット AFM5400L

試料サイズ8インチまで搭載可能な大型SPMです。アキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用によりナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。

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中型プローブ顕微鏡システム AFM5500M

XY200 μmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPMです。

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関連情報

走査型プローブ顕微鏡(SPM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
リストの一部はこちらからご覧いただけます。

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
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Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。

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