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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

簡単・確実なカンチレバーの取り付け

従来レバーはとても小さく掴みにくいものでしたが、センサー内蔵型レバーは大きくて掴みやすく、取り付けが簡単・確実です。

自己検知と光てこの選択が可能

自己検知方式と光てこ方式の選択が可能です。
光てこ方式では、カンチレバーにレーザー光軸を合わせる調整が必要でしたが、自己検知方式の採用により、これを不要にしました。
光てこ方式のアタッチメントを追加することで、様々な機能を拡張することが出来ます。また、光てこ方式への変更はケーブル1本の抜き差しで完了です。

ピンポイントアプローチタイプのカンチレバーによる正確な位置決め

カンチレバーが、探針先端の位置を直上から確認できる構造になっており、測定箇所の位置合わせが簡単です。さらに、探針の先鋭化により高分解能化も達成しています。

手軽に調整可能な新型光ヘッド

レーザー位置調整のための調整機構を5軸から4軸に減らし、CCD像とポジションモニタを見ながら調整するため初めての方でも容易に調整することができます。

ナビゲートシステムによる簡単操作

フローチャート形式ナビゲートシステムにより、どなたでもスムーズに高分解能な表面観察を行うことができます。また、試料の硬さや凹凸の大きさといった質問に感覚的に答えることで、測定パラメータを簡単に設定することができます。

省スペース設計の実現

装置本体に、除振機構、防風カバー、試料とカンチレバーを観察できる直上USBカメラがついて、非常にコンパクトにまとまっています。

簡便な機能変更対応

専用ソフト、カンチレバーホルダの交換により簡便に機能を変更することができます。

仕様

仕様
検出系 自己検知方式/光てこ方式
検出系の光源 半導体レーザー
分解能 原子分解能
試料サイズ 最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm*
スキャナ(走査範囲) オープンループ
  • XY:20 µm/Z:1.5 µm
  • XY:100 µm/Z:15 µm
  • XY:150 µm/Z:5 µm
クローズドループ
  • XY:110 µm/Z:6 µm
光学顕微鏡
  • 自己検知/光ヘッド兼用顕微鏡
  • ズーム機能付顕微鏡
  • 金属顕微鏡
基本機能 自己検知:DFM、PM
光てこ:AFM、DFM、PM、FFM
機能拡張性* SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
除振機構
  • 卓上除振台
  • エア供給式パッシブ除振台
(選択)
試料移動機構 マニュアルステージ XY:±2.5 mm
インパクトステージセット*
対応環境 大気、液中*、湿度*、加熱*(室温~250℃)
  • * オプション品

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