光ヘッドに低コヒーレント（光干渉が少ない）光源を採用してS/N比を向上、さらに熱源抑制構造による低ドリフト化を実現した多機能型ユニットAFM5200Sなら、高分解能かつ高精度な測定を行えます。試料の交換が容易に行える機構なども搭載し、大気中および液中で容易に測定できます。
価格 ¥6,500,000～
(プローブステーションは別売りです。)
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
定評のある「フロントワイドオープン機構」「オーバースライドヘッド機構」を筆頭に、試料の交換が容易に行える様々な機構を装備しています。
光ヘッドに「低コヒーレント（光干渉が少ない）光源」を採用することで、高出力時のモードホップノイズや戻り光のノイズ発生を無くし、S/N比を1.5倍向上。ナノオーダーの更なる高分解能観察を可能にしました。
「熱源抑制構造」にすることで、ユニット本体の熱源を徹底して排除。 従来の1/10以下のドリフト量を実現し、ナノオーダーの構造解析に欠かせない基本性能を大幅に向上させました。
新方式のアプローチ機能により、探針のソフトランディングを実現。 アプローチ時の探針のダメージを最小限に抑えます。
| 検出系 | 光てこ方式 |
|---|---|
| 検出系の光源 | 低コヒーレント型半導体レーザー |
| 分解能 | 原子分解能 |
| 試料サイズ | 最大35 mmφ、厚さ10 mm 最大50 mm角、厚さ20 mm* |
| スキャナ（走査範囲） | オープンループ
|
| 光学顕微鏡 |
|
| 基本機能 | AFM、DFM、PM、FFM |
| 機能拡張性* | SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM |
| 除振機構 | エア供給式パッシブ除振台 |
| 試料移動機構 | マニュアルステージ XY：±2.5 mm インパクトステージセット* |
| 対応環境 | 大気、液中*、湿度*、加熱*（室温～250℃） |
液中・電気化学対応ホルダー
シャーレセル
密封環境制御セル
電気化学セル
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）のアプリケーション（測定事例）を紹介しています。
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