AFM、白色干渉縞測定器、マイクロスコープを一つにまとめた大型ユニットAFM5400Lなら、原理の異なるそれぞれの測定機器の性能を活かしながら、狭視野から広視野範囲までをシームレスかつ高精度に測定できます。最大8インチまでの試料を搭載し、多点同時連続測定を自動で行えます。
価格
AFM5400L ¥15,000,000~
AFM5400L(白色干渉複合機)¥29,000,000~
(プローブステーションは別売りです)
取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ
AFM・白色干渉縞測定器・マイクロスコープの3つのヘッドを搭載する複合機です。
それぞれの機器の特徴である基本性能をそのままに、従来の観察機器にない広範囲から狭範囲までのシームレス観察を実現しました。
高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、様々な大きさの試料に対応できる汎用型AFMです。最大8インチまでの試料搭載を実現し、多点同時連続測定を自動で行えるので、誰でも簡単にナノメータースケールでの測定が行える品質管理にも適応したシステムになっています。
大型試料ステージを標準装備。6インチまでの試料の全面電動ステージ制御観察が可能です。
初めての方でも、測定のたびにマニュアルを見る必要はありません。ナビゲーション機能がカンチレバー取り付け~チューニング~測定パラメータ決定~画像処理・解析~出力までの一連の操作をウィザード形式でガイドします。カンチレバーは予めステージ上の専用台に並べ、光学顕微鏡の中心へレバー先端を移動させるだけで、位置合わせとセットができます。
また、光軸調整アシスト機能によって面倒なレーザ光軸調整の手間が大幅に省けます。
そして何よりもヘッドを外さずにレバーの交換が行えるので、大型機特有であるレバー交換時のスキャナ落下破損事故の心配がありません。
高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、多くのAFMの課題であるS/N比・ドリフト問題のみならず、スキャナのX-Yクロストークに起因する測定誤差にも着目。従来から定評のある、クリープ・ヒステリシスの少ない「クローズドループスキャナ」を更に進化させた、X-Yクロストークのない「Accurateスキャナ」の搭載により、測定形状の信頼性を大きく向上させました。多くのAFMが抱える形状測定出力の非対称性やX-Y形状歪の問題を解決します。
光ヘッドに「低コヒーレント(光干渉が少ない)光源」を採用することで、高出力時のモードホップノイズや戻り光のノイズ発生を無くし、S/N比を1.5倍向上。ナノオーダーの更なる高分解能観察を可能にしました。
検出系 | 光てこ方式 |
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検出系の光源 | 低コヒーレント型半導体レーザー |
分解能 | XY:0.2 nm/Z:0.05 nm |
試料サイズ | 最大200 mmφ、厚さ22 mm |
スキャナ(走査範囲) | クローズドループ
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光学顕微鏡 | ズーム機能付顕微鏡(専用) |
基本機能 | AFM、DFM、PM、FFM |
機能拡張性* | SIS、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、PRM、KFM、EFM、MFM |
除振機構 |
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試料移動機構 | 電動ステージ XY:150 mm × 150 mm |
対応環境 | 大気 |
その他 | カンチレバー自動交換機能、自動多点測定機能(レシピ機能)、レーザー光軸調整支援機能 |
白色干渉計* | 最大視野範囲:947 µm × 710 µm(レンズによる)、対物レンズ:×10, ×20, ×50、分解能(垂直):0.01 nm 、層断面解析機能* |
軟X線式静電気除去システム (X線漏洩防止カバー付)
走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。
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