大型ユニット AFM5400L ：日立ハイテクノロジーズ

SPM・白色干渉縞測定器・マイクロスコープの複合機

SPM・白色干渉縞測定器・マイクロスコープの3つのヘッドを搭載する複合機です。
それぞれの機器の特徴である基本性能をそのままに、従来の観察機器にない広範囲から狭範囲までのシームレス観察を実現しました。

低倍率領域のマイクロスコープ、白色干渉縞測定器、高倍率領域のSPMまでの観察を連動させることで、従来のSPMにないスムーズな測定位置合わせが可能。
複合機ならではの、異なる原理の測定機器での同一ポイント測定で、従来困難であったクロスチェックによる測定データの信頼性を向上。
白色干渉縞測定機能で、透明体の非破壊層断面解析を実現。

大型試料の形状測定を極める

高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、様々な大きさの試料に対応できる汎用型SPMです。最大8インチまでの試料搭載を実現し、多点同時連続測定を自動で行えるので、誰でも簡単にナノメータースケールでの測定が行える品質管理にも適応したシステムになっています。
大型試料ステージを標準装備。6インチまでの試料の全面電動ステージ制御観察が可能です。

測定ナビゲーション機能によるカンチレバー自動交換

初めての方でも、測定のたびにマニュアルを見る必要はありません。ナビゲーション機能がカンチレバー取り付け～チューニング～測定パラメータ決定～画像処理・解析～出力までの一連の操作をウィザード形式でガイドします。カンチレバーは予めステージ上の専用台に並べ、光学顕微鏡の中心へレバー先端を移動させるだけで、位置合わせとセットができます。

また、光軸調整アシスト機能によって面倒なレーザ光軸調整の手間が大幅に省けます。
そして何よりもヘッドを外さずにレバーの交換が行えるので、大型機特有であるレバー交換時のスキャナ落下破損事故の心配がありません。

AccurateスキャナによるZ動作時のX,Y方向へのクロストーク削減

高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、多くのSPMの課題であるS/N比・ドリフト問題のみならず、スキャナのX-Yクロストークに起因する測定誤差にも着目。従来から定評のある、クリープ・ヒステリシスの少ない「クローズドループスキャナ」を更に進化させた、X-Yクロストークのない「Accurateスキャナ」の搭載により、測定形状の信頼性を大きく向上させました。多くのSPMが抱える形状測定出力の非対称性やX-Y形状歪の問題を解決します。

低コヒーレント光学系による干渉縞ノイズ抑制

光ヘッドに「低コヒーレント（光干渉が少ない）光源」を採用することで、高出力時のモードホップノイズや戻り光のノイズ発生を無くし、S/N比を1.5倍向上。ナノオーダーの更なる高分解能観察を可能にしました。

仕様

仕様
検出系	光てこ方式
検出系の光源	低コヒーレント型半導体レーザー
分解能	XY：0.2 nm／Z：0.05 nm
試料サイズ	最大200 mmφ、厚さ22 mm
スキャナ（走査範囲）	クローズドループ XY：90 µm／Z：6 µm XY：90 µm／Z：15 µm （選択）
光学顕微鏡	ズーム機能付顕微鏡（専用）
基本機能	AFM、DFM、PM、FFM
機能拡張性^*	SIS、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、PRM、KFM、EFM、MFM
除振機構	Z軸制御型アクティブ除振台フルアクティブ除振台パッシブ除振台（選択）
試料移動機構	電動ステージ XY：150 mm × 150 mm
対応環境	大気
その他	カンチレバー自動交換機能、自動多点測定機能（レシピ機能）、レーザー光軸調整支援機能
白色干渉計^*	最大視野範囲：947 µm × 710 µm（レンズによる）、対物レンズ：×10, ×20, ×50、分解能（垂直）：0.01 nm 、層断面解析機能^*