ナノ3D光干渉計測システム VS1800新機能④【展開】親和性の向上
走査型プローブ顕微鏡とのリンケージシステム（追加オプション）
座標リンケージによりミクロ～マクロまでの3D計測を実現
優れた面分解能を有するAFMとの連携により、同一場所での手軽な評価を実現しました。
時間のかかる複数装置間の測定の場所探しを解決し、ミクロからマクロまで幅広い計測ニーズにお応えします。
任意測定ポイントは、最大10,000視野まで測定可能です。
計測事例－保護フィルム－
データの確からしさのクロスチェックに
スマートフォン用保護フィルム表面の同一箇所計測例です。それぞれ形状データおよび粗さ結果を比較すると同等の計測が得られていていることがわかります。より高空間分解能を有するAFMと、測定結果の相関を得ることができれば、高速計測が可能なCSIで多数サンプルにおける評価のスループット向上が可能です。
計測事例－積層セラミックコンデンサ 剥離フィルム
2種類の異なる剥離フィルムについてそれぞれAFM,CSIで計測した結果です。 左側フィルムのCSI結果では、広い領域において穴が点在しているのが確認できます。一方、右側フィルムでは穴径が微細なためCSIで捉えきれずに、AFMのデータによりその穴の存在が確認できました。このように計測する領域により捉えられる形状は異なるため、両装置による相補的な計測を行うことで、それぞれの特長を生かした幅広い知見を得ることができます。
