半導体デバイス内部配線、材料、電子部品の電気特性測定とEBAC(電子ビーム吸収電流)解析用に開発されたSEM式プロービングシステムです。
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取扱会社:株式会社 日立ハイテク
項目 | 内容 | |
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プローブユニット | ユニット数(探針数) | 4 |
駆動方式 | ピエゾ素子使用 | |
微動範囲 | 5µm(X、Y軸) | |
粗動範囲 | 6mm(X、Y軸) | |
プローバーシフト機構 | プローバの相対位置を移動可能 | |
試料ステージ/ ベースステージ | 試料サイズ | 25mm×25mm、厚1mm以下 |
移動ポジション | 測定位置、試料交換位置 | |
試料交換 | 予備排気室付き | |
プローバ ナビゲーション |
プローブ位置へのステージ移動 | |
測定位置記憶 | ||
探針粗調整 | CCD像表示機能 | 横方向からの観察像表示 |
電子光学系 | 電子銃 | 冷陰極電界放出形電子銃 |
加速電圧 | 0.5~30kV | |
分解能 | 15nm(加速電圧2kV、WD=15mm) | |
イメージシフト | ±100µm以上(2kV、WD=15mm) | |
EBACアンプ/ 画像表示 | アンプ種 | Currentアンプ/Differentialアンプ |
画像表示 | SEM像/EBAC像 | |
単独/並列/重ね合わせ表示 | ||
画像処理 | 白黒反転表示、カラー表示機能、明るさ調整、スロースキャン積算、ベルトスキャン | |
大きさ・重さ | 本体 | 1,100(W)×1,550(D)×1,750(H)(mm) |
850kg | ||
ディスプレイ | 1,000(W)×1,005(D)×1,200(H)(mm) | |
265kg |
項目 | 内容 |
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室温 | 15~25℃ |
湿度 | 60%以下 |
電源 | AC100V±10%、5kVA(M5用圧着端子) |
接地 | D種接地(100Ω以下) |
(1)
EBACにより配線ネットを可視化。
(2)
加速電圧を変える事で目的とする上部配線だけを可視化。
(3)
(1)と(2)をカラー処理で重ね合わせることによりM2とM3を見やすく表示。
サンプル:Al 4層配線
アンプ種:電流アンプ
試料ご提供:株式会社ルネサステクノロジ
サンプル:Cuビアチェーン
アンプ種:差動アンプ