微小デバイス特性評価装置 nanoEBAC® NE4000 ：日立ハイテクノロジーズ

特長

日立独自の高性能な各種EBACアンプ（特許取得）を搭載し、配線の断線不良はもちろん、高抵抗の配線不良の検出が可能となります。また、周波数帯域可変の機能により、高速レートでのEBAC画像の観察が可能になりました
多彩な画像処理やカラー処理機能を有する、操作性に優れたGUIを搭載しました
低加速電圧での試料観察用として、コールドFE電子銃を採用しました
高精度のプローバユニットを4本採用（4探針）し、微小部へのプロービング、配線への直接プロービングが可能です
CCDカメラでの横方向の像観察により、探針のZ方向の粗調整が可能です

項目		内容
プローブユニット	ユニット数（探針数）	4
	駆動方式	ピエゾ素子使用
	微動範囲	5µm（X、Y軸）
	粗動範囲	6mm（X、Y軸）
	プローバーシフト機構	プローバの相対位置を移動可能
試料ステージ/ ベースステージ	試料サイズ	25mm×25mm、厚1mm以下
	移動ポジション	測定位置、試料交換位置
	試料交換	予備排気室付き
	プローバナビゲーション	プローブ位置へのステージ移動
	プローバナビゲーション	測定位置記憶
探針粗調整	CCD像表示機能	横方向からの観察像表示
電子光学系	電子銃	冷陰極電界放出形電子銃
	加速電圧	0.5～30kV
	分解能	15nm（加速電圧2kV、WD＝15mm）
	イメージシフト	±100µm以上（2kV、WD＝15mm）
EBACアンプ/ 画像表示	アンプ種	Currentアンプ/Differentialアンプ
	画像表示	SEM像/EBAC像
	画像表示	単独/並列/重ね合わせ表示
	画像処理	白黒反転表示、カラー表示機能、明るさ調整、スロースキャン積算、ベルトスキャン
大きさ･重さ	本体	1,100（W）×1,550（D）×1,750（H）（mm）
	本体	850kg
	ディスプレイ	1,000（W）×1,005（D）×1,200（H）（mm）
	ディスプレイ	265kg

（1）
EBACにより配線ネットを可視化。

（2）
加速電圧を変える事で目的とする上部配線だけを可視化。

（3）
（1）と（2）をカラー処理で重ね合わせることによりM2とM3を見やすく表示。

サンプル：Al 4層配線
アンプ種：電流アンプ
試料ご提供：株式会社ルネサステクノロジ

サンプル：Cuビアチェーン
アンプ種：差動アンプ