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SEMを用いた発光材評価 -高感度UVDを搭載したSU3800/SU3900なら、発光体の組成を明瞭に可視化

蛍光体やLEDのGaN基板など、SEMを用いた発光材の評価では、反射電子検出器によって反射電子を観察し、試料中の組成分布を確認する手法が一般的です。しかし、多くの場合で課題になるのは、観察した像のコントラストが低く、微妙な濃度の違いを確認するのが困難なことです。

SU3800/SU3900なら、高感度UVD*を搭載し、バイアス電極によって加速された電子線が試料中の別の電子を叩き出した二次電子と残留ガス分子の衝突によって発生した光を検出することで、CL情報を取得できます。
発光体の組成を明瞭に可視化し、さらに発光そのものを観察することが可能です。

*オプション

鉱物の観察・分析例

ジルコンの結晶の同視野を観察した結果を示します。BSE像ではジルコニウムの緩やかな濃度差を可視化することは困難です。一方、CL像の暗い領域は、ジルコニウムの濃度が高い領域に相当することが確認できます。
(SU3800/SU3900の詳細はこちら)

さらに、同一視野をEDSで分析することで、多面的な評価を行うことが可能です。